電子顕微鏡用分析装置

SEM用 QUANTAX EDS

XFlash® 7 - 新世代EDS検出器

最適なアングルで理想の分析を

速く 正確に 確実に

1,000,000
cps
最大 1,000,000 cps の分析スループット
比類ない分析速度を実現
> 2,200
元素ピーク
K、L、M、N線を網羅するデータベースを用いて複雑なデータを定量
> 1.1
sr
最高のX線検出立体角
もっとも効率よくX線を検出する最適な配置で最大のスループットを

SEM、FIB-SEM、EPMA用エネルギー分散型X線分析装置

  • ブルカーの新世代QUANTAX EDSはXFlash® 7検出器を中心とする分析システムです。電子顕微鏡X線分析において最高の検出立体角とスループットを実現します。
  • XFlash® 7検出器ファミリーはSEM、TEM、FIB-SEM、EPMA用エネルギー分散型X線分析における性能機能性の新基準となります。
  • XFlash® 7検出器ファミリーはTEMおよびSEMでの薄膜試料のEDS分析にも最適なソリューションを提供します。独自のFlatQUAD検出器は困難なアプリケーションにも対応します。
  • スリムラインテクノロジー、高検出立体角デザイン、最新のパルスプロセッサ。
  • 最高のエネルギー分解能による高品質スペクトル。
  • 洗練された定量計算アルゴリズムと独自のハイブリッド定量メソッドによる高い定量精度。

元素分析をより効率的に

検出器ごとに最適化されたEDSシステムで高精度な分析結果をより速く。比類なきスピードと正確さを提供します。

最高のスループットにより測定時間を短縮。データサイズの制限なくマップ測定や定量分析が可能。

効率的な検出器配置で困難なアプリケーションに対応

最適な検出器配置による正確で信頼性の高い定量結果

優れた検出限界、低いバックグラウンド、少ない吸収により、より少量の物質を検出

ESPRIT分析ソフトウェアでEDS、WDS、EBSD、micro-XRFをシームレスに統合
あらゆるSEM、FIB-SEM、EPMAに対応

アプリケーション例

SEM-EDS元素分析のアプリケーション例

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