电子显微镜分析仪器

SEM QUANTAX EDS

XFlash® 7 - 最新 EDS 探头系列

优化的设计            更好的分析

快速、精准、可靠

1,000,000
cps
有效输出计数可达 1,000,000 cps
无与伦比的分析速度
> 2,200
条元素谱线
包含所有 K,L,M 和 N 线系的全系原子数据库,可以对复杂的数据进行定量分析
> 1.1
sr
更大的采集立体角
优化的几何结构,更快的采集速度,更高的测试效率

用于 SEM, FIB-SEM 和 EPMA 的能量分散谱仪

  • 布鲁克的最新一代 QUANTAX EDS  XFlash® 7 能谱探头具有最大的采集立体角 ( Solid Angle) 和更高的输出计数率。
  • XFlash® 7 继续引领扫描电子显微镜 (SEM) 、聚焦离子束 (FIB-SEM) 和电子探针 (EPMA) 上能谱分析的性能与功能的标准。
  • XFlash® 7 探头还为 TEM 和 SEM 中可以透过电子的样品提供了优化的解决方案,此外,独特的 XFlash® FlatQUAD 为一些高难度样品提供了更好的解决办法。
  • Slim-line 技术,大立体角设计,最新一代脉冲处理器。
  • 更好的能量分辨率和采谱性能。
  • 精致的定量算法,独特的有标样和无标样定量分析方法有效提高了分析结果的准确性。

高效的元素分析

  • 每一套EDS系统都独立进行优化,保证以更快的速度得到更精确的结果。
  • 更大的输出计数率使测量时间大大缩短,可以在任何条件下进行定量和面分布分析而不再受数据量的困扰。
  • 优化的结构设计,可以分析各种高难度的样品。
  • 优化的设计降低了背底和吸收的影响,使定量结果更为准确可靠。
  • 更低的背底和吸收使检测限更小,可以检测到更低含量的元素。
  • 一体化的 ESPRIT 软件平台将EDS, WDS, EBSD 和 微区-XRF 无缝组合,成为一个综合的分析平台,可用于所有的 SEM, FIB-SEM 以及 EPMA。

分析测试面临的挑战

SEM 元素分析在不同领域的应用