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依靠布鲁克 ESPRIT 软件的图像扩展功能,基于 SEM 的 EDS能在几分钟或数秒内获取整个样品薄片(28 mm x 48 mm)的元素分布图。这种总览分析通常足以对样本中元素的进行可视化分布。图 1 显示了一系列不同停留时间每像素条件获得的元素分布图,停留之间的区别从 2048 μs 到仅 4 μs。结果显示,每帧仅几秒钟的采集时间通常足以区分主要元素分布并识别样本中的主要物相和细微结构。