粗糙地形材料的 EDS 定量
为了进行可靠的 EDS 定量，必须准确了解样品和探测器几何构型。但是，对于表面粗糙的样品，我们很难知道获取谱图的点所对应区域的样品几何形状。提升 EDS 定量准确性的一个方法就是旋转样品获得多个谱图。这将模糊样品粗糙表面对定量的影响，使结果更接近其化学计量比浓度。
图 1 显示了具有粗糙样品表面的三元合金的 SE 图像，这个合金材料的浓度已知（元素 A = 33.4%，B = 41.3% 和 C = 25.3% 的质量百分比）。为了评估样品的成分，我们在样品表面采集了五个点谱图（图1a）。之后将样品旋转180°，另外采集五个点谱图（几乎与之前的位置相同）（图1b）。材料的组成结果的平均值为元素 A = 33.5%，B = 40.8% 和 C = 25.7%，这些数值非常接近理论浓度。测量粗糙表面样品最为便捷的方法是使用布鲁克独特的 XFlash® FlatQUAD 能谱仪 。
图1a：表面粗糙的三元素系统的SE图像（无样品台旋转）
图 1b：表面粗糙的三元素系统的 SE 图像（样品台经 180° 旋转）
带定量表的 EDS 点光谱