ホウ化物系耐熱材料の低加速電圧定量分析
5 kV で取得した HfB2 の EDS スペクトル;差し込み画像は、100 - 250 eV領域の拡大スペクトルを示しています
ホウ化物系超高温（UHT）セラミックスは極限環境のために作られた耐熱材料の一種です。ハフニウム（Hf）、チタン（Ti）、ニオブ（Nb）、ジルコニウム（Zr）などの遷移金属のホウ化物は非常に高い融点を持つことで知られています。このために航空宇宙用途や防衛用途に非常に適した材料となっています。
ホウ化ハフニウム（HfB2）のEDS元素分析は、ホウ素（原子番号 5）から発生する蛍光X線がハフニウム（原子番号 72）に吸収されてしまうため容易ではありません。さらに、ホウ素のK線（183 eV）はハフニウムのN線（202 eV）と重なっています（図1）。HfB2を正しく定量分析するためには、測定条件と定量モデルを注意深く選択する必要があります。この例では加速電圧 5kVで定量分析を行いました。
図1 加速電圧 5 kVで取得したHfB2のEDSスペクトル。拡大グラフは100 - 250 eVの範囲。
