Al-Si合金中のSn-Cu接合部のライブ元素マッピング : ESPRIT LiveMap
ブルカーのXFlash® 7 EDS 検出器は大きな検出立体角と高性能パルスプロセッサを備え、最大1000 kcpsの出力カウントレートでライブ元素マッピングが可能です。
ESPRIT LiveMapは、金属間化合物、コンタミネーション、界面領域、微量元素などの観察対象領域の決定が必要となるさまざまなアプリケーションで利用可能です。自動元素同定や重なり合うピークのデコンボリューションなどの機能はライブマップ中でも利用可能です。
この例ではAl-Si合金に液相拡散接合 (TLP)されたSn-Cu中間層のライブEDS元素マッピングを示します。複数の層が複雑に分布する様子が確認できます。最も上の層はAl-Si合金で最も下の層はSn-Cu接合部です。Crのコンタミネーションは自動で認識され、マップデータに追加されます。ESPRIT LiveMapがSn-Cu接合部のコンタミネーション部分の特定に利用できることがわかります。
ESPRIT LiveMapの特徴
- 最大1000 kcpsの高カウントレートでライブ元素マッピング
- 試料の構成元素を自動で同定
- 指定部分のスペクトルを抽出・表示
- 微小領域に局在する微量元素をライブ検出
- 検出元素のライブアップデート (手動 / 自動)
- ライブマップの分解能のカスタマイズ
- 通常のマップ測定に簡単に切り替え可能