ContourX-500
ContourX-500
ContourX-500光学式プロファイラー（三次元白色干渉型顕微鏡・表面粗さ計・白色干渉計）は、高速で非接触の3次元表面形状測定を可能にする、世界で最も包括的なベンチトップ型自動測定システムです。ゲージ対応のContourX-500は、卓越したZ軸の分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉計（WLI）のフロアスタンド型モデルの利点をすべて備えていますが、設置面積ははるかに小さくなっています。このプロファイラは、精密加工された表面形状測定や半導体プロセスのQA/QC計測、眼科向けやMEMSデバイス用の研究開発における特性評価まで、幅広い複雑なアプリケーション用途に合わせて、容易にカスタマイズすることが可能です。
自動化機能
ブルカー独自のチップ/チルトヘッド構造を搭載した顕微鏡ヘッドは、生産現場でのセットアップや検査において、他にない高い柔軟性を提供します。顕微鏡ヘッドの光路にチップ/チルト機能を組み合わせることで、従来の焦点位置と傾斜調整機構の軸中心が同じ位置にないことから焦点や測定座標がずれるステージ側チルト構造に対し、ブルカー独自のContourX-500では検焦点位置を中心に振り子のように傾斜調整。これにより、オペレーターの介入が少なくなり、最大限の再現性を得ることができます。その他のハードウェアの特徴としては、革新的なステージデザインにより、より大きなスティッチング能力を実現し、1200x1000の測定アレイを備えた5MPカメラにより、低ノイズ、広い視野、高い横方向の解像度を実現しています。これらの機能と自動ステージングおよび対物レンズの組み合わせにより、ContourX-500は、コンパクトな設置面積でありながら、研究開発や産業用計測に理想的な環境を実現しています。
最も幅広いアプリケーションに対応する分析能力
ContourX-500は、強力なVisionXpressとVision64のユーザーインターフェースを利用することで、研究室や工場などの現場に合わせた何千通りのカスタムによる分析・計測を提供します。またブルカーの新しいユニバーサル・スキャニング・インターフェロメトリー測定モード（USI）により、表面形状を自動で感知し、信号処理を最適化することで、最も正確でリアルな表面形状を算出します。
