アクイティエクスチェンジ
3D光学表面プロファイラの側面分解能を高める
白色光干渉法は、研究者やメーカーが利用できる最速、最も正確、かつ最も汎用性の高い表面測定技術の一つとしてしっかりと確立されています。しかし、干渉法の欠点の1つは、原子間力顕微鏡や走査型電子顕微鏡システムに比べて横解像度が限られている点です。Brukerは、白色光干渉法の他の利点を損なうことなく、この光学回折限界を効果的に克服する革新的な干渉測定技術を開発しました。
AcuityXR®は、特許出願中のユニークなBrukerハードウェアとソフトウェア技術を組み合わせて、選択したContour 3D光学表面プロファイラを有効にして、光学回折限界を破り、従来の光学顕微鏡技術では達成不可能と考えられていた横解像度を提供します。反射光の位相を使用して白色光干渉信号から表面の高さを計算し、シャープネス、透明度、および傷、欠陥、表面テクスチャの定義を改善する滑らかな表面で動作します。さらに、ナノスケール構造上の寸法再現性が5倍に向上する。
特徴分離がほとんどない標準PSI(左)とAcuityXR PSI(右)で行われた350nmのライン幅測定で、高レベルの特徴分化を示しています。
標準PSI(左)とAcuityXR PSI(右)で撮影された画像は、サンプル上の適切な構造を示しながら、画像をあまりピクシレートを行う能力においてAcuityXR PSIの大幅な改善を示しています。
ピクセル制限の解像度の図。赤いバーは、各ピクセルで収集された全体的な光を表します。カメラのピクセル間隔が不適切なため、2 つの隣接するフィーチャは区別されません。
回折限定の解像度の図。機能はカメラのピクセル間隔よりも広いですが、システムの光学系のためにぼやけており、この場合はほとんど分離されていません。
システムモデリング、低ノイズ測定、複数の表面スキャンを組み合わせて、AcuityXRは光学要素が大幅に横解像度を高めることによって引き起こされるぼかしを低減します。狭い特徴のために、それはまた、大幅に高められた幅の変化の定量化を提供し、小さい構造上でもプロセス制御を可能にする。これは、製造プロセスの監視、MEMSセンサーの重要な寸法測定、およびその他のプロセス開発や品質管理の使用に対する貴重な機能です。特許出願中の技術に基づいて、AcuityXRは標準的な干渉測定と比較してXおよびY方向の2倍のサンプリングで測定を行い、様々な用途でBruker 3D顕微鏡で行われる光学プロフィロメトリーの能力を大幅に向上させます。
