透過メディアを通じて
保護包装、環境室、その他の分散材料を通じて、高解像度の測定が可能
ブルカーのTTMモジュールの主な特長
- 厚さ3mmまでのガラスやその他の材料を通してサンプルを測定
- 革新的な照明は40x測定まで可能にする
- ユニバーサルハウジングは、複数の倍率と補償材料をサポートしています
- 20xの目的は深い溝の測定のための25:1の縦横比を提供する
- MEMS、材料科学、生物用途など
R&D 100賞を受賞したTTMモジュールは、1倍から40倍までの倍率を実現するための3つの目標2x、10x、20倍で利用できます。ガラススライドの簡単な手動交換は、様々な厚さの材料のための柔軟なモジュールを作ります。
透過メディア回路図を介して。
それはどのように動作しますか?
透明フィルムまたは包装材料によって引き起こされる干渉縞を補償するために、等しい材料と厚さのガラスは、ビームスプリッターと参照ミラー(水色のボックス)の間に挿入されます。したがって、デバイスの包装材料に起因する干渉を効果的に取り消す。
無傷の MEMS デバイスの 3D データセット
上記は、10x TTMモジュールを使用した、無傷のMEMSデバイスの3Dデータセットです。
200μmガラスを搭載したMEMSデバイス
左側のイメージ A は、TTM モジュールのない 3D イメージを示しています。右の画像であるイメージBは、高コントラストと品質分解能を示すBrukerのTTMモジュールを使用した10倍の画像です。
3mmカバーガラスを備えた20μmステップ高さ標準
画像Aは、3mmカバーガラスを上に20μmのステップ高さ標準で撮影した標準目標の結果です。イメージBは、TTMモジュールを使用して同じ3mmガラスを通して画像化した場合の結果です。
