QUANTAX WDS
SEM用 波長分散型X線分光分析
卓越したエネルギー分解能
優れた分析精度・正確度
~ 4
eV
Si-KαでのFWHM
桁違いに優れたエネルギー分解能
< 100
ppm
多数の元素の検出限界
微量元素の高い精度と正確性
> 900
cps/nA
C-Kα線のカウントレート
低エネルギーX線に対する高い検出感度
EPMAの利点によるSEMの補完
- SEM 用 QUANTAX WDS（WDX）は、XSense 波長分散分光計で構成され、すべての並列ビーム WDS システムの中で最適な解像度が得られます。平行ビーム設計による大きな立体角は、Rowland circleに基づいたWDS分光計と比較して、低エネルギーX線の信号強度がはるかに高くなります。
- WDS の特性である高いSN比は、バックグラウンドによるアーティファクトを抑制する独自の二次光学系によってさらに強化されます。
- QUANTAX WDSは、最も優れた斜入射光学系および最大6つの分光結晶を備えており、70 eV以上の低エネルギーX線に対して優れた感度を有しています。
- 独創的な自動光学アライメントシステムと独自の圧力制御比例カウンタにより、正確で再現性のある結果を実現します。
- WDS ポートまたは EDS ポートに柔軟に適応します。
SEM上のWDS – 要求の厳しい分析アプリケーションのための完璧なソリューション
- Ta-W-Si, Pb-S, Mo-S などの一般的な EDS ピークのオーバーラップを解決します
- 対象となる元素の低エネルギーX線（L、M、N）を探索
- 侵入深さを最小限に抑えるために、低加速電圧でサンプルを調べます。
- 濃度範囲全体においてBe から F までの軽元素を測定できる高い立体角によって、最高のcps/nAを実現します。
- EDSの検出限界をはるかに下回る微量元素濃度を特定できます。
- 導電性コーティングをせずに低真空で測定
- 独自の圧力制御比例カウンタで分析測定時間を節約
- 正確な定量のためにスペクトルデータの空間精度を確保
- 各検出器のメリットを組み合わせたWDSとEDSの定量化の同時分析によって、測定時間を短縮
