TEM, STEM 및 T-SEM용 응용 프로그램 EDS

반도체

니시(Pt)-니시2 반도체 구조물에서 Pt의 정량화

란타눔 헥사보라이드(LaB6)는 두 개의 극단, 매우 가벼운 요소(B) 및 무거운 요소(La)를 포함하고 있기 때문에 S/TEM의 정량적 EDS 분석을 위한 매우 예시적인 예입니다.

Pt의 정량화

발광 다이오드

층구조의 화학상 분석

사전 지식을 적용하지 않고 화학 상의 존재에 대한 하이퍼 스펙트럼 이미지를 확인하는 것이 유리할 수 있습니다. 브루커의 ESPRIT 자동 위상은 스펙트럼의 원리 구성 요소 분석을 기반으로 하이퍼맵을 분석하여 유사한 조성물의 표본 영역을 자동으로 찾습니다. 이 절차의 감도를 조정할 수 있습니다. 이 방법은 단면의 다층 구조를 예로 사용하여 보여 지습니다.

나노 와이어의 화학 적 특성화

나노와이어 및 나노로드 및 기능성 나노차량과 같은 나노구조는 나노기술의 다양한 응용분야에 대한 관심이 증가하고 있으며, 인체에서 나노전자 또는 약물 전달이 될 수 있다.

나노 와이어

원자 열 EDS 분석

반도체의 특성은 예를 들어 포인트 결함에 의해 원자 수준에서 구조에 의해 결정됩니다. EDS 매핑을 가능한 가장 높은 해상도로 사용하면 이러한 결함을 찾고 특성화할 수 있습니다.

그래핀에 하나의 원자를 식별

EDS의 가장 높은 예술은 단일 원자의 스펙트럼을 얻을 뿐만 아니라 특정 요소의 여기 속성에 대한 귀중한 새로운 정보를 제공 할 수 있습니다.

그래핀에 단일 원자

반도체 상호 연결의 화학 적 조성

기존의 스캐닝 전송 전자 현미경(STEM)에 30mm²의 검출기 영역을 사용하는 표준 에너지 분산 X선 분광법(EDS 또는 EDX)은 몇 분 이내에 nm 해상도의 원소 매핑을 제공할 수 있습니다. 조건은, 검출기 헤드가 충분히 작아서 (슬림 라인 설계에서) 시편 (높은 고체 각도)에 가깝게 얻을 수 있으며 시편 (높은 이륙 각도용)에 대해 가능한 한 높다는 것입니다. 후자는 그림자 와 흡수 효과를 방지하는 데 도움이됩니다.

반도체 상호 연결

SEM(T-SEM)에서 STEM-EDS를 사용하는 반도체 구조의 고분해능 매핑

X선 기반 방법을 사용한 반도체 나노구조의 원소 분포 매핑이 항상 똑바로 진행되는 것은 아닙니다. 반도체 소재를 조사할 때 나노스케일 공간 해상도와 X선 피크 중복의 필요성은 일반적인 과제입니다. 때로는 고가의 TEM 도구와 특성화 시간 대신 SEM을 사용하는 것이 유용할 수 있습니다.

반도체 매핑

나노 물질

자기 나노 구조 매핑

표본은 탄탈륨(Ta), 루테늄(Ru) 및 코발트(Co), 백금(Pt), 크롬(Cr) 및 산소(O)의 혼합물로 코팅된 SiO2 구로 구성됩니다.

자기 나노 구조

Pd pt 코어 쉘 입자의 질적 및 정량적 매핑

코어 쉘 입자는 나노 기술, 특히 촉매에서 점점 더 중요한 역할을합니다. 이 응용 프로그램 예제에서는 Pd-Pt 코어 쉘 나노 입자의 요소 맵을 제공합니다.

코어 쉘 입자