자기 나노 구조 매핑
이 Cs 수정 된 HAADF 이미지는 STEM에서 조사를 위해 준비 된 여러 SiO2 구체에 대한 개요를 보여줍니다. 포함된 원소의 원자수가 높기 때문에 마그네틱 층은 Si보다 HAADF 대비에서 훨씬 더 밝게 나타납니다.
표본은 탄탈륨(Ta), 루테늄(Ru) 및 코발트(Co), 백금(Pt), 크롬(Cr) 및 산소(O)의 혼합물로 코팅된 SiO2 구로 구성됩니다. 상단 레이어는 고슴도치와 같은 구조를 가지며, 수차 보정 된 HAADF 이미지에서 분명해집니다. EDS를 종래의 STEM에서 사용하여 요소를 국소화하고 계층구조의 선명한 그림을 얻을 수 있었다. 예를 들어, 이 빠른 측정의 통계를 개선하기 위해 8 x 8 binning을 사용하여 맵을 정량화 한 후 Ru와 Ta로 구성된 종자 층을 구별하기가 매우 쉽습니다. 혼합 요소 맵을 사용하면 기능성 자기 층의 특성 및 생산 공정에 매우 중요한 여러 가지 응루젼이 허용됩니다.
a) Co 및 Pt는 상단 레이어에 균등하게 분포됩니다.
b) 공동 및 Pt는 자석 연결 및 쉬운 스위칭 동작을 일으키는 단일 결정물의 기지에서 폐쇄 필름을 형성합니다.
c) Cr은 구조의 바로 표면에 집중된 것으로 보인다.
APL(자기 고슴도치 와 같은 나노 구조, C. Brombacher, M. Falke, F. 스프링어, H. Rohrmann, A. 곤차로프, T. 슈레플, A.Bleloch, M. Albrecht Appl. Phys. 97, (2010 102508) DOI: 10.1063/1.3486679)는 Cr Oxide가 이 고슴도치와 같은 구조의 단일 Pt-Co 결정물의 외부 부분을 서로 격리하여 자기 애니소트로피가 데이터 저장과 같은 장치 응용 제품에 사용될 수 있음을 보여줍니다.
그 층 성분을 설명하는 기장 등 자기 나노 구조의 종래의 STEM HAADF 이미지
Cr, Ru, Co를 포함하는 자기 나노 구조의 혼합 원소 맵
Cr, Ru, Pt를 포함하는 자기 나노 구조의 혼합 원소 맵
상세한 타/루 종자 층 구조는 8x8 픽셀 binning을 사용하여 타, Si 및 Cu의 디온 볼루션 후이 정량화된 맵에서 얻어졌다. 혼동을 피하기 위해 타와 루만 표시됩니다.
상세한 타/루 종자 층 구조는 8x8 픽셀 binning을 사용하여 타, Si 및 Cu의 디온 볼루션 후이 정량화된 맵에서 얻어졌다. 혼동을 피하기 위해 타와 루가 표시됩니다.