다층 거울 기술
X선 회절을 위한 등급별 다층 거울은 뮌헨의 지멘스 지점과 90년대 중반에 카를스루에(현 브루커 AXS)에 의해 H. 괴벨(H. Goebel)에서 처음 개발되었습니다. 그 이후, 합성 다층 광학은 중점 또는 병렬 빔을 형성하면서 하나 또는 두 차원으로 X 선 빔을 형성 할 수있는 매우 효율적인 빔 형성 장치가 처음으로 제공됨에 따라 단색광기의 분야에 혁명을 일으켰습니다. 높은 반사도, 넓은 흔들 곡선, 우수한 스펙트럼 순도 및 튜닝 가능한 빔 파라미터는 등급이 매겨진 다층 거울을 마이크로포커스 X-ray 소스에 대한 완벽한 선택으로 만들어 소스의 광채를 유지합니다.
등급이 매겨진 다층 미러는 W 또는 Ni와 같은 반사경 레이어의 번갈아 스택과 C 또는 B4C와같은 공간 레이어로 구성됩니다. 이를 통해 광학을 따라 레이어 두께의 측면 그라데이션을 갖춘 신중하게 설계된 다층 구조를 생성할 수 있습니다. 다양한 사고 각도에 대한 브래그의 법칙을 이행하고 최고 품질을 보장하기 위해 이론적 가치와 광학을 따라 계층 두께의 달성 된 값 사이의 계약은 1 % 이상이어야합니다.
구 GKSS 연구 센터 기스타흐트(Geesthacht)의 박막 연구 부서의 스핀오프로서 INCOATEC는 30년 이상 다층 구조물의 증착 경험을 쌓아왔습니다. 첫날부터 우리의 거울은 최고 품질의 표준을 달성합니다.
오늘날 INCOATEC의 등급이 매겨진 다층 거울은 브루커의 X선 분석 솔루션의대부분에 사용됩니다.
일반적인 응용 분야는 X선 형광의 분석기 결정에서 다양합니다. (XRF) X선 회절(XRD), 작은 각도 산란(SAXS) 및 단일 결정 회절(SC-XRD)에서 1차원 빔 성형을 위한 단색 크로미터. INCOATEC는 또한 초정밀 단일 및 다층 코팅이 성공의 열쇠인 소프트 X-ray 정권의 싱크로트론 어플리케이션을 위한 새로운 고반사 거울 개발에 깊이 관여하고 있습니다.
