X射线衍射的分级多层镜镜最初由西门子在慕尼黑的分支机构和卡尔斯鲁厄(现为布鲁克AXS)在90年代中期在H.Goebel下开发。自那时以来,合成多层光学技术彻底改变了单色器领域,首次出现了高效的光束成形装置,这种装置可以在一两个维度上塑造X射线束,同时形成聚焦或平行光束。其高反射率、宽摇曲线、优良光谱纯度和可调光束参数使分级多层反射镜成为微聚焦X射线源的完美选择,保持了源的光泽。
我们的分级多层反射镜由反射层(如 W 或 Ni)的交替堆栈和空间层(如 C 或 B4C)组成。这允许生产精心设计的多层结构,其横向梯度为光学层厚度。为了实现布拉格关于不同事件角度的法律,并保证最高质量,理论值与光学层厚度所实现值之间的一致性必须高于 1%。
作为前 GKSS 研究中心 Geesthacht 薄膜研究部门的副产品,INCOATEC 在多层结构沉积方面积累了 30 多年的经验。从第一天起,我们的镜子就达到了最高质量的标准。
如今,INCOATEC 的分级多层反射镜已用于布鲁克的大部分 X 射线分析解决方案中。
典型的应用范围从X射线荧光中的分析仪晶体 (XRF) 到单色素,用于X 射线衍射 (XRD)、小角度散射(SAXS) 和单晶衍射(SC-XRD) 中的一维和二维光束成形。INCOATEC 还深入参与开发新的高反射镜,用于软 X 射线系统中的同步加速器应用,其中超精确的单层和多层涂层是成功的关键。