多層ミラー技術
X線回折用の等級多層ミラーは、90年代半ばにミュンヘンのシーメンス支店とカールスルーエ(現ブルカーAXS)によってH.ゲーベルの下で最初に開発されました。それ以来、合成多層光学は、焦点を合わせるまたは平行ビームを形成しながら、1つまたは2つの次元でX線ビームを形作ることができる非常に効率的なビーム整形装置が初めて利用可能になったように、モノクロータの分野に革命を起こしました。高い反射率、広いロッキング曲線、優れたスペクトル純度と調整可能なビームパラメータは、マイクロフォーカスX線源のための完璧な選択を段階的な多層ミラーにし、ソースの輝きを維持します。
当社のグレード付きマルチレイヤーミラーは、WやNiなどの反射器層の交互スタックと、CまたはB4Cなどの空間層で構成されています。これにより、光学系に沿った層の厚さの横勾配を持つ慎重に設計された多層構造の製造が可能になります。様々な入射角度に対するブラッグの法則を満たし、最高品質を保証するには、理論値と光学系に沿った層厚さの達成値との間の合意が1%以上でなければなりません。
旧GKSS研究センターギースタヒトの薄膜研究部門のスピンオフとして、INCOATECは30年以上にわたり多層構造の堆積の経験を積んできました。初日から、私たちのミラーは最高品質の基準を達成しています。
今日、INCOATECの等級積層ミラーは、ブルカーの X線分析ソリューションの大部分で使用されています。
代表的な用途は、蛍光X線中の分析結晶から (XRF)は 、X線回折 (XRD)における1次元および2次元ビーム整形用のモノクローマーター、 小角散乱 (SAXS)および 単結晶回折 (SC-XRD)に対する。INCOATECは、超精密な単層および多層コーティングが成功の鍵となるソフトX線レジームにおけるシンクロトロン用途向けの新しい高反射ミラーの開発にも深く関わっています。
