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X線源と光学系の組み合わせは、測定に必要なレベルのX線を確保することと予算を考える上で非常に重要です。水冷式の管球では、平板モノクロメーターまたはより高いX線強度が得られる湾曲TRIUMPHモノクロメーターのいずれかを選択できます。
METALJET、TXSマイクロフォーカスローテーティングアノードおよびIμSマイクロフォーカスチューブの全てにおいては良質で高強度X線を生成する第3世代HELIOS多層膜ミラーを選択できます。