Wyko・Veecoの歴史
Wyko Corporation
ブルカーの3D光学顕微鏡のノウハウは、80年代にWyko Corporationが開発した非接触表面光学プロファイリング技術にルーツがあります。Wyko は1982年にアリゾナ大学光学科学センターの3人のメンバーによって設立されました。半導体およびデータストレージ業界向けに設計された初期システムにより、Wyko干渉計は、企業が積極的な技術ロードマップに遅れないようにするための計測ソリューションの主要プロバイダーとなりました。Wykoの装置は、製造サイクル全体を通して正確で一貫性のある定量データを生成することで、製品の歩留まりと品質を向上させるために使用されました。コンピュータ用ハードドライブの製造工程では、Wyko システムにより、磁気ヘッドの形状と高さ、サスペンションアームの高さと角度、ディスクのテクスチャと平坦度の精密な測定が可能になりました。半導体メーカーは、フリップチップやウェハーの粗さ測定にWykoの装置を使用しました。
Wykoの多くの特許は、学術研究、産業研究開発、光学、電気通信の分野にも市場を広げ、成功を収めました。同社の最も売れた製品には、Laditeレーザーダイオード波面計、IR3赤外干渉計、TOPO-3D光学表面形状測定器、Siris干渉計、Wyko 6000 Fizeau干渉計などがあります
Veeco Metrology Group
Wykoの成功は、1997年にVeeco Instruments Inc.(上場企業)によって買収され、新しい非接触式光学測定製品と既存の原子間力顕微鏡、Dektak触針式プロファイラー、レーザー散乱計を組み合わせてVeeco Metrologyグループを立ち上げました。この部門は、薄膜磁気ヘッドや先進半導体デバイスなどの高成長マイクロエレクトロニクス市場向けの表面計測機器を供給し、幅広い産業用途に対応しています。また、精密イオンビームシステムと物理蒸着システムにおける世界的リーダーとしてのVeeco Instruments Inc.の地位を支えました。
Veeco 社のもとで、表面形状測定技術はその後も発展を続け、特許と操作ソフトウェアで表面形状測定業界をリードしてきました。Veeco Metrology Group は、最高級の自動化システムの開発を専門とし、最新の白色光干渉法（WLI）機能を卓上型装置に導入しました。同社は、精密表面、先端材料、光学、生体材料、MEMS、半導体パッケージングなどの 3D 表面高さを迅速かつ正確に測定するベストセラーの光学式プロファイラ NT シリーズを開発しました。また、Veeco Metrology Group は、半導体メーカー向けの全自動非接触表面形状測定システム SP シリーズと、データストレージメーカー向けの干渉計 HD シリーズも開発しました。
Bruker Nano Surfaces
2010年、Veeco社はLED、太陽電池、データストレージ、および無線市場のみに注力する決断を下し、計測事業をBruker Corporationに売却しました。
50年以上にわたり、Brukerの高性能科学研究機器と価値の高い分析ソリューションを、科学者や研究者の皆さまへ提供しております。
今日、Brukerは、分子・物質研究、診断、工業、臨床、応用分析のための高性能科学機器と高度なソリューションのリーディング・プロバイダーであり続けています。自動車/航空宇宙、高輝度LED、太陽電池、半導体、医療機器市場において、高度なQA/QCおよび研究開発用精密加工・製造アプリケーションに特化した装置により、ブルカーはお客様のアプリケーションとご予算に合った3D光学顕微鏡ソリューションを提供しています。
3D光学式プロファイラーソリューション:
- 3D表面測定型装置 (卓上型 150mm XYステージ対応スタンダード・ハイパフォーマンスモデル):ContourX-100、ContourX-200、ContourX-500、
- 大規模および産業用向け計測装置( 大型重量物向け 産業用 300mm XYステージ対応 ):NPFLEX
- 半導体向け計測装置 (大型パネル基盤/PCB生産管理向け650㎜XYステージ対応):ContourSP
- データストレージ向け計測装置( データストレージのプロセス制御監視):HD9800+
