ContourX-1000
ContourX-1000三维光学轮廓仪
ContourX-1000立式白光干涉仪（WLI）能够轻松快速地获取高质量的三维表面纹理和粗糙度测量结果。该系统融合了30多年来的创新成果以及我们全新的专有软件和技术，提供了布鲁克光学轮廓仪所闻名的高效率和可重复性，同时提高了吞吐量，让操作更加简便。
ContourX-1000具备全自动功能、直观的用户体验以及简化的测量设置和分析方案，几乎可由任何操作员在任何表面上进行极其准确、精密的测量，即便是在多用户、大批量的生产设施中也是如此。
下一代专注于行业的3D表面测量解决方案
配备了布鲁克独有的干涉测量技术并拥有自动化能力的ContourX-1000，将我们ContourX轮廓测量系统的准确的测量和成像能力扩展到了各种开发和生产应用中。
只有ContourX-1000：
配备独有的倾斜补偿探头、双光源和先进的自动化技术，提供快速且灵活的生产现场计量服务；
通过自校准激光器和集成振动隔离装置，确保高度准确性和可靠性；
集成了我们用户友好的测量和分析软件，包含引导式、简化的程序和测量方案。
适合几乎所有表面和用户的高精度计量设备
借助ContourX-1000，现在获取高质量的3D表面纹理和粗糙度测量变得更加容易和快速。
《Laser Focus World》杂志在2023年SPIE Photonics West展会上访问了我们，探讨了ContourX-1000的下一代设计。观看视频亮点或联系我们，了解更多关于这款自校准、全自动的研究与生产解决方案的信息。
先进光学轮廓仪硬件设计
ContourX-1000配备了多种独特且创新的硬件。其下一代设计能够实现快速优化，并确保在几乎所有开发和生产应用中，即便是在高通量和嘈杂环境中，都能达到非常高的可重复性。
关键特性包括：
- 专利倾斜/俯仰扫描头；
- 独特双光源设计；
- 自动物镜转塔与样品台；
- 多种晶圆托盘；
- 独有内置参考激光，以及
- 集成减震台。
▲ 专利倾斜/俯仰扫描头
强大的自动测量与分析
ContourX-1000高集成度、操作简便的功能以及先进的生产界面，能够实现高质量、计量级别测量数据的快速采集，同时尽可能减少用户干预。这消除了手动设置、采集和分析所固有的复杂性、耗时长和操作者不一致对结果造成的影响。
关键特性包括：
- 自动化测量和分析菜单；
- 新的一键式高级寻找表面功能，配备自动对焦和自动照明；
- 采用自适应测量模式USI自动确定最佳测量参数；
- 引导式VisionXpress界面；
- 自动图案对齐；
- 自动强度调整、自动保存、自动拼接等功能，以及更多。
▲ 晶圆检测时的自动图形用户交互界面
源于业界的解决方案
ContourX-1000将先进的硬件和软件集成进行了独特的组合，能够为各种应用和行业中的多种表面提供高精确度、具备计量能力的定量三维表面表征，包括关键尺寸测量等许多领域。
布鲁克的Vision64控制与分析软件
ContourX-1000由Vision64®软件进一步赋能，实现大量产业要求的功能，以及用户优化的图形化界面，具体包括：
Advanced Find Surface
The Advanced Find Surface feature enables any user to obtain quality results regardless of operator experience level, even in multi-user environments.
It not only enables auto-focus, but also adjusts key illumination parameters such as the intensity of the LED ring light. This allows uncompromised metrology on varied material surfaces with improved user experience, extreme operator ease, and faster time-to-result.
VisionXpress
Between the easy-to-use VisionXpress™ interface with its standard test library for multi-user environments, the award-winning full-featured Vision64 interface for advanced setup and automated analysis, and the Advanced Production interface for ultimate automation with minimal user intervention, you can select the most suitable solution for your unique metrology needs, without compromise. This unique capability enables uncompromised metrology on any surface, with increased throughput.
Universal Scanning Interferometry
The adaptive surface intelligence of USI mode automatically adjusts algorithm parameters for optimum results on different surface textures in the same field of view, even on surfaces with differing contrast, intensity, and heights. This ability to automatically sense the type of surface and provide the most accurate areal metrology makes it one of the easiest and most robust measurement methods for almost any surface, transparent to opaque, with a vertical range up to 120 µm.
Recent Webinars
ContourX：四十年历史的Wyko® 和Bruker的领先技术
ContourX 系统采用先进的计量算法来优化白光干涉测量（WLI）的能力。其结果即使在低放大倍率下也能实现同样高的垂直分辨率。这使得研究人员和工程师能够快速获取准确且具有统计相关性的数据，而且这些数据来自大范围的测量区域。
ContourX系列轮廓仪通过以下几点获得业界领先的能力和客户的高度满意：
- 持续优化用于表面计量的白光干涉技术；
- 大视场下的高度分辨率；
- 不损失精度和准确性下的高通量测试；以及
- 领先的可信度及重复性。
How Can We Help?
Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.
Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.