Dimension FastScan Pro ：生产型快速扫描原子力显微镜
Dimension FastScan Pro 提供当今工业界相当快速的扫描和丰富的性能测量。该系统支持全自动或半自动测量，同时具有易操作性以及满足实现质量控制、质量保证和故障分析的低成本要求。
生产多功能性
FastScan Pro 利用开放性平台、大样品或多样品平台以及各种易用性功能，为工业 QA、QC 和 FA 部门提供灵活的高性能纳米级计量。该系统可用于半导体界、硬盘界、HB-LED业界 的 2 英寸至 12 英寸晶圆的自动测量。它具有增加的 XY 方向行程，可完全访问 200mm 晶圆或直径为 200 mm 的面积中的多个样品中的多个区域，并配有 300 mm 晶圆的可选样品台。该系统还提供用于形貌、粗糙度和其他计量参数的分析。拥有可更换的高速FastScan 扫描头以及具有 90μm 扫描范围的 Icon 扫描头（用于更大的扫描和高精度地形性能）。
强大的自动化软件
AutoMET™ 的测量流程软件提供操作简单、快速、全自动、以及关键的质量控制参数。该软件允许在多个样品或单个大型样品上进行多点自动测量。它还提供光学和 AFM 图型识别、探针针尖中心化、空白晶圆和图形化后晶圆的测试，以及数十纳米范围内的图像位置对准精确度。全面而简单的测量流程编写使高级用户在在线和离线软件的应用中跟快捷、有效。
精确控制探针于样品之间相互作用
独特的原子力显微镜技术可以控制探针和样品之间任何一点的范德华力。这种精确的探针和样品之间的力控制允许将机器用在广泛的样品类型上，从软聚合物、薄膜和电气样品到硬材料。它还提供最低的可用于成像的力，探针寿命超过数百次扫描和数据收集。
Powered by the NanoScope 6 AFM Controller
Featuring higher speeds, lower noise, and greater AFM mode flexibility, the NanoScope 6 controller allows users to harness the full potential of our high-performance Dimension and MultiMode AFM systems. This latest generation controller provides unprecedented accuracy, precision, and versatility for nanoscale surface measurements in every application.
NanoScope 6 uniquely enables Bruker AFMs to:
- Operate in more imaging modes than is possible with competing systems, including unique and advanced AFM modes that require complex control and analysis;
- Collect accurate, quantitative data for nanoelectrical and nanomechanical property measurements in every application; and
- Optimize and customize scanning parameters to meet even the most demanding research and industry measurement requirements.
Contact us to discuss your measurement requirements and options for system specialization, or submit a sample run request to learn how a Bruker AFM is best suited for your applications.
用AFM拓展您的应用
凭借一整套出色的AFM成像模式，布鲁克能为您每项研究提供适用的 AFM 技术。
基于核心成像模式（接触模式和轻敲模式），布鲁克提供的全套 AFM测试模式，允许用户探测样品的电学、磁性等丰富性能。布鲁克独创的全新的峰值力轻敲技术作为一种新的核心成像模式，已被应用到多种测量模式中，能同时提供形貌、电学和力学性能数据。
Dimension FastScan Pro 图例
