Dimension FastScan Pro
Dimension FastScan Pro는 오늘날 사용할 수있는 모든 산업 AFM의 가장 높은 계측 수준의 속도와 성능을 제공합니다. 이 시스템은 자동화또는 반자동 측정을 가능하게 하면서 품질 관리, 품질 보증 및 고장 분석을 위해 측정당 최대한의 사용 편의성과 최저 비용을 보장합니다.
생산 다양성
FastScan Pro는 개방형 플랫폼, 대형 또는 다중 샘플 홀더 및 수많은 사용 편의 기능을 활용하여 산업용 QA, QC 및 FA 애플리케이션을 위한 유연한 고성능 나노 스케일 계측을 제공합니다. 이 시스템은 세미, 데이터 스토리지 및 HB-LED를 위한 자동 2인치에서 12인치 웨이퍼 측정을 제공합니다. 직경 200mm 영역에서 200mm 웨이퍼 또는 여러 샘플에 완전히 접근할 수 있도록 XY 샘플 이동이 증가하고 300mm 웨이퍼를 위한 척 옵션을 제공합니다. 또한 지형, 거칠기 및 기타 계측 분석을 위한 고처리량 5-10x FastScan 스캐너 또는 더 큰 스캔 및 고정밀 지형 성능을 위한 90μm 스캔 범위가 있는 아이콘 스캐너 중에서 선택할 수 있습니다.
강력한 자동화 소프트웨어
AutoMET™ 풀 레시피 소프트웨어는 빠르고 자동화된 계측, 간단한 작동 및 AFM 적응성을 제공하여 생산에 필요한 중요 품질 측정을 쉽게 포착할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 여러 위치에서 나노 스케일 특성화를 위해 여러 샘플 또는 단일 대형 샘플에서 자동화된 측정을 할 수 있습니다. 또한 수십 나노미터 내에서 광학 및 AFM 이미지 패턴 인식, 팁 센터링, 전체 웨이퍼 또는 그리드 매핑 지원, 이미지 배치 정확도를 제공합니다. 포괄적이지만 간단한 레시피 작성은 고급 사용자에게 실시간 및 오프라인 사용을 제공합니다.
정밀한 프로브 시료 제어
고유한 기술을 통해 샘플의 모든 원자에 대한 정밀 한 힘을 사용할 수 있습니다. 이 정밀한 프로브 대 시료 제어는 연약한 폴리머, 박막 및 전기 샘플에서 단단한 재료에 이르기까지 가장 광범위한 샘플 유형을 허용합니다. 또한 수백 개의 참여 및 데이터 스캔을 통해 사용 가능한 이미징 력과 긴 프로브 팁 수명을 제공합니다.
Powered by the NanoScope 6 AFM Controller
Featuring higher speeds, lower noise, and greater AFM mode flexibility, the NanoScope 6 controller allows users to harness the full potential of our high-performance Dimension and MultiMode AFM systems. This latest generation controller provides unprecedented accuracy, precision, and versatility for nanoscale surface measurements in every application.
NanoScope 6 uniquely enables Bruker AFMs to:
- Operate in more imaging modes than is possible with competing systems, including unique and advanced AFM modes that require complex control and analysis;
- Collect accurate, quantitative data for nanoelectrical and nanomechanical property measurements in every application; and
- Optimize and customize scanning parameters to meet even the most demanding research and industry measurement requirements.
Contact us to discuss your measurement requirements and options for system specialization, or submit a sample run request to learn how a Bruker AFM is best suited for your applications.
Expand Your Applications with AFM Modes
With an unrivalled suite of imaging modes available, Bruker has an AFM technique for every investigation.
Built on the backbone of core imaging modes—Contact Mode and Tapping Mode—Bruker offers AFM modes that allow users to probe their samples’ electrical, magnetic, or materials properties. Bruker’s innovative new PeakForce Tapping technology represents a new core imaging paradigm that has been incorporated into several modes, providing topographic, electrical, and mechanical properties data in parallel.
Dimension FastScan Pro 데이터 갤러리
