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电子显微镜分析仪

QUANTAX EBSD

同轴 TKD 具有无比优越的性能

更高的空间分辨率

低探头电流要求

1.5
纳米
有效的空间分辨率
独特的同轴 TKD 提供更好的样品-探测器几何构型，从而实现无比优越的性能
2
nA
测试所需的最大电流
同轴 TKD 可实现低探头电流测试，且不影响测试速度和数据质量
125,000
Pps
超快获取 FSE、BSE 和 STEM 图像
无比优越的ARGUS成像系统可在几秒钟内实现高对比度和低噪声成像

具有无比优越的空间分辨率的纳米材料取向分布图

QUANTAX EBSD 系统加上广受欢迎的 OPTIMUS TKD 探测器，是分析 SEM 中纳米材料理想的解决方案。原因如下：

  • 提供 1.5 nm 的最佳空间分辨率
  • 在不影响速度和/或数据质量的情况下以低测试电流进行测试
  • 在使用浸入式透镜模式的超高分辨 SEM 下工作的市面上仅有的 TKD 解决方案
  • 全自动内置 ARGUS 成像系统
联系我们 OPTIMUS 2

为什么我需要同轴 TKD？

Ge-Sb-Te (GST) 薄膜样品的暗场像图片，我们感谢斯坦福大学Aaron Lindenberg组提供的样品和图像结果
  • 实现最佳空间分辨率
  • SEM 中获取取向分布图和物相分布图
  • 用于快速测试，同时不影响数据质量/完整性
  • 以令人难以置信的速度，通过全自动信号优化，以出色的对比度和分辨率拍摄 STEM 图像
  • 可使用低电流分析束流敏感材料。

您的分析挑战是什么？

在测量区域通过ARGUSM成像探测器采集的原子对比度图像。从不同的灰色级别可以推断出至少 5 个不同阶段的存在。

矿物学样品的高级物相识别

EBSD是地球科学研究中一项非常强大的技术，可用于分析微观结构和物相等。
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Overview of the selected microprocessor: micro-XRF map acquired with M4 TORNADO.

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Ball bonding is a type of wire bonding, commonly used for electrical interconnections in semiconductor devices.
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使用ARGUSM成像探测器获得的相位对比度图像显示至少4个不同的相位。请注意，在相位边界处存在许多精细沉淀物。同时进行EBSD/EDS测量的结果如图2和5所示。

镍基超合金微观结构的 EBSD 表征

镍基超合金以其出色的机械强度、耐热蠕变变形、耐疲劳、耐腐蚀或氧化而广为人知。
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