고장 분석 및 재료 특성화
완전한 나노 스케일 FTIR, 나노 스케일 화학 이미징 및 재료 특성화 플랫폼
산업 기업 내 의 고장 분석 및 재료 특성화 그룹은 프로세스 개발을 개선하고 프로세스 관련 문제를 해결하여 조직이 비용을 절감하고 수익을 높일 수 있도록 문제를 해결하는 데 중점을 두었습니다.
nanoIR3-s는 완전한 나노 스케일 FTIR, 화학 이미징 및 재료 특성화 플랫폼을 제공합니다. 두 개의 보완적인 나노 스케일 IR 기술인 AFM-IR 및 산란 SNOM을 AFM 기반 재료 속성 매핑과 결합합니다. 이 시스템은 생산적이고 신뢰할 수 있으므로 하루 만에 생산적인 데이터를 얻을 수 있습니다. 응용 프로그램에는 다음이 포함됩니다.
- 나노 유기 오염 물질
- 로우K 유전체
- 반도체 재료
- 데이터 저장 미디어 및 슬라이드
유기 나노 오염 물질은 현재 특성화 기술이 제한된 반도체 및 데이터 저장 회사에 심각한 결함 문제입니다. 나노IR3 시스템은 10nm까지 공간 해상도에서 IR 스펙트럼을 획득하여 이러한 결함 및 기타 반도체 물질을 측정할 수 있습니다.
브루커의 특허받은 AFM-IR 기술을 사용하여 생성된 스펙트럼은 기존의 FTIR 스펙트럼과 직접적인 상관 관계가 있으므로 표준 FTIR 라이브러리와 비교할 수 있습니다. 나노IR3는 화학 분석 외에도 나노스케일 공간 해상도를 통해 보완적인 기계적, 전기, 열 및 구조적 특성 정보를 제공합니다.
