동시 EBSD 및 EDS 분석
고품질 데이터의 수집 및 평가
브루커 EDS 및 EBSD 검출기를 배치하는 고유한 기능으로 인해 둘 다에 대한 최적의 측정 조건을 달성할 수 있습니다. 이를 통해 빠르고 효율적인 동시 EBSD 및 EDS 데이터 수집이 허용됩니다.
두 방법을 동시에 동시에 보유하는 것은 생성된 데이터의 품질과 결론에 엄청난 이점입니다. 특히 의심의 경우 올바른 데이터 해석을 위한 두 번째 정보 소스를 갖는 것이 매우 유용합니다. 많은 분석 단계가 오프라인에서 매우 빠르게 수행할 수 있기 때문에 운영자와 SEM 시간을 모두 절약할 수 있습니다.
동시 EBSD 및 EDS 측정에는 다음과 같은 응용 프로그램이 있습니다.
- 고급 단계 ID를 통해 오프라인 위상 식별을 위한 입력으로 위상 구성 요소 제공
- 유사한 패턴을 생성하는 단계의 EDS 기반 온라인 차별
빠른 EDS 기반 온라인 단계 차별
단계는 다른 성분이 있지만 혼자 EBSD에 의해 구별 할 수 있도록 너무 유사한 EBSP를 생산하는 경우가 있습니다. 이러한 EDS 기반 온라인 차별을 사용할 수 있습니다. 최종 결과에서 EDS 데이터의 가중치는 사용자가 1%에서 100% 사이로 수정할 수 있습니다.
빠른 정량화 루틴과 브루커의 XFlash® EDS 검출기의 기능 덕분에 최대 930 패턴/s의 속도로 획득 및 평가를 수행할 수 있습니다. 이를 위해 측정의 모든 지점에서 획득한 EDS 스펙트럼은 EBSD 데이터와 함께 단일 파일에 저장되므로 항상 온라인과 오프라인으로 액세스할 수 있습니다.