Durch die einzigartige Positionierung der Bruker EDS- und EBSD-Detektoren werden optimale Messbedingungen für beide Systeme gleichzeitig erreicht. Dies ermöglicht eine schnelle und effiziente synchrone EBSD- und EDS-Datenerfassung.
Beide Methoden gleichzeitig zur Hand zu haben, ist ein enormer Vorteil für die Qualität der erzeugten Daten und die daraus gezogenen Schlussfolgerungen. Gerade im Zweifelsfall ist es sehr nützlich, eine zweite Informationsquelle für eine korrekte Dateninterpretation zu haben. Da viele analytische Schritte extrem schnell offline durchgeführt werden können, spart dies sowohl Bediener- als auch REM-Zeit.
Die gleichzeitige EBSD- und EDS-Messung hat folgende Anwendungen:
Es gibt Fälle, in denen EBSPs produziert wurden, die sich so ähnlich sind, dass sie mit EBSD allein nicht zu unterscheiden sind, obwohl sie unterschiedliche Bestandteile haben. Für diese kann eine EDS-basierte Online-Diskriminierung verwendet werden. Die Gewichtung der EDS-Daten in den Endergebnissen kann vom Benutzer zwischen 1% und 100% geändert werden.
Dank der schnellen Quantifizierungsroutine und der Leistungsfähigkeit von Brukers XFlash® EDS-Detektoren kann die Erfassung und Auswertung mit einer Geschwindigkeit von bis zu 930 Mustern/s durchgeführt werden. Zu diesem Zweck werden an jedem Punkt einer Messung erfasste EDS-Spektren in einer einzigen Datei zusammen mit den EBSD-Daten gespeichert. D.h. sie sind sowohl online als auch offline immer zugänglich.