EBSDとEDSの同時分析
高品質データの取得と評価
Bruker EDSおよびEBSD検出器の位置決めに関する独自の機能により、両方に最適な測定条件を実現することができます。これにより、EBSDとEDS データを高速かつ効率的な同時取得が可能になります。
両方の方法を同時に行うことができる点は、作成されたデータの品質と結論にとって大きなメリットをもたらします。特に疑わしい場合には、データを正しく解釈するための第2の情報源を持つことは非常に有用です。多くの分析ステップをオフラインで非常に高速に実行できるので、オペレータとSEMの両方の時間を節約します。
EBSDとEDSの同時測定には、次のアプリケーションがあります。
- 高度なフェーズ IDを使用したオフラインフェーズ識別のための入力値としてフェーズ構成を提供する
- 類似パターンを生成するEDSベースのフェーズオンライン識別
高速EDSベースのオンライン位相識別
フェーズは、構成要素が異なっていてもEBSDだけでは区別できないほど類似したEBSPを生成する場合があります。そのために、EDSベースのオンライン識別を使用することができます。最終結果のEDSデータの重みは、ユーザーが1%から100%の間で変更できます。
高速定量化ルーチンとBrukerのXFlash®EDS検出器の機能により、データの取得と評価は最大930パターン/秒の速度で行うことができます。この目的のために、測定の各ポイントで取得したEDSスペクトルは、EBSDデータと一緒に単一のファイルに保存され、オンラインでもオフラインでも常にアクセス可能です。