Debido a la capacidad única en la colocación de los detectores Bruker EDS y EBSD, se pueden lograr condiciones de medición óptimas para ambos. Esto permite una adquisición simultánea de datos EBSD y EDS rápida y eficiente.
Tener ambos métodos a la mano al mismo tiempo es un gran beneficio para la calidad de los datos producidos y las conclusiones hechas. Especialmente en caso de duda es muy útil tener una segunda fuente de información para una correcta interpretación de los datos. Como muchos pasos analíticos se pueden hacer sin conexión extremadamente rápido, esto ahorra tiempo tanto al operador como al SEM.
La medición simultánea de EBSD y EDS tiene las siguientes aplicaciones:
Hay casos en que las fases producen EBSP que son tan similares que son indistinguibles solo por EBSD, aunque tienen diferentes componentes. Para estos EDS-basado en la discriminación en línea se puede utilizar. El peso de los datos EDS en los resultados finales puede ser modificado por el usuario entre 1% y 100%.
Gracias a la rápida rutina de cuantificación y a las capacidades de los detectores XFlash® EDS de Bruker, la adquisición y evaluación se pueden realizar a una velocidad de hasta 930 patrones/s. Para este propósito, los espectros EDS adquiridos en cada punto de una medición se almacenan en un único archivo junto con los datos EBSD, lo que significa que ambos son siempre accesibles en línea y fuera de línea.