옵티머스 TKD 검출기 헤드

브루커의 고성능 eFlash EBSD 검출기 시리즈는 이제 SEM에서 온축 전송 기쿠치 디플럼 분석(TKD)을 위한 최고의 샘플 검출기 형상을 위해 특별히 설계된 옵티머스^™ TKD 검출기 헤드로 구성할 수 있습니다. 검출기 헤드는 타의 추종을 불허하는 감도로 키쿠치 패턴을 획득할 뿐만 아니라 패턴과 같은 SAED(선택된 영역 전자 회절)에 대한 액세스를 제공합니다.

최소 2nm 공간 해상도의 방향 매핑

샘플 아래에 있는 수평 인광판 화면의 위치는 수직 표준 설정에 비해 두 가지 주요 장점이 있습니다.

• 진도 강한 신호 의 한 순서
  
• 가능한 가장 낮은 노모니투영 왜곡

신호가 훨씬 강해 작은 조리개로 방향 맵을 획득할 수 있으므로 공간 해상도가 향상됩니다. 다양한 재료에 대한 결과는 고급 FE-SEM을 사용할 때 2nm 이상의 효과적인 공간 해상도를 나타냅니다. 5kV까지 낮은 가속 전압에서 작업할 수도 있습니다. 이를 통해 평균 자유 경로를 줄이고 기쿠치 회절 신호의 수율을 높이는 데 도움이 됩니다. 이것은 얇고 "가벼운"샘플을 분석 할 때 매우 유용합니다. 노모니투영으로 인한 왜곡은 EBSD에서 흔히 발생하는 문제이며, 특히 수직 인광화면을 사용할 때 TKD 분석에 영향을 미칩니다.

그러나 옵티머스^™ TKD를 사용하면 인광 화면의 중심과 패턴 중심을 정확히 일치시켜 표준 EBSD 형상이 제공하는 것보다 더 나은 이상적인 기하학적 조건을 가능하게 합니다. 그 결과 키쿠치 패턴은 최소 왜곡을 가지며 밴드 감지 및 후속 인덱싱 정확도를 크게 향상시킵니다.

ARGUS^™ FSE 이미징 시스템

옵티머스^™ TKD에는 ARGUS^™ 이미징 시스템을 탑재하여 이미징과 같은 화려한 어둡고 밝은 필드를 나노미터 스케일까지 세부적으로 구현하여 SEM을 "저kV TEM"으로 실질적으로 변환합니다. ARGUS^™ 변형된 재료에 탈구 벽의 개별 탈구 및 네트워크를 표시하는 데 사용할 수 있습니다. 이미지와 같은 다크 필드는 경계 평면 위치 및 경사에 대한 3D 정보를 표시합니다.

사용 편의성

기존의 모든 eFlash 검출기에는 옵티머스^™ TKD 검출기 헤드를 장착할 수 있습니다. 교환은 숙련 된 사용자가 10-15 분 이내에 쉽게 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 필요할 때마다 EBSD 와 TKD 모드 를 쉽고 빠르게 전환할 수 있습니다. OPTIMUS^™ TKD는 브루커의 고급 충돌 방지 시스템을 갖추고 있습니다: 충돌의 가능성 없는 경우 검출기가 즉시 10mm/s의 속도로 후퇴하여 손상의 위험을 크게 줄입니다. 옵티머스^™ TKD 검출기 헤드는 TKD 샘플 홀더, 동시에 TKD/EDS 측정을 위한 XFlash^® EDS 검출기 시리즈, ESPRIT 2 분석 소프트웨어 제품군을 포함한 SEM용 브루커의 TKD 전문 툴킷과 원활하게 작동합니다.