Brukerの高性能eFlash EBSD検出器シリーズは、SEMのオン軸伝送菊池回折解析(TKD)のための最良のサンプル検出器ジオメトリのために特別に設計されたOPTIMUS™TKD検出器ヘッドで構成できるようになりました。™検出器ヘッドは、比類のない感度で菊池パターンを取得するだけでなく、パターンのようなSAED(選択領域電子回折)へのアクセスを提供します。
2 nm 以上の空間解像度を持つ方向マッピング
サンプルの下の水平蛍光体スクリーンの位置は、垂直標準設定と比較して2つの大きな利点があります。
かなり強い信号は、このように改善された空間分解能を可能にする小さな開口部を持つオリエンテーションマップを取得することができます。さまざまな材料の結果は、ハイエンドFE-SEMを使用する場合、2 nm以上の有効な空間分解能を示しています。5 kVまでの低加速電圧での作業も可能です。これは、平均自由経路を減少させ、したがって菊池回折信号の収率を増加させるのに役立ちます。これは、薄いサンプルと「軽量」サンプルを分析する場合に非常に便利です。ノモニック投影による歪みはEBSDの一般的な問題であり、特に垂直蛍光体スクリーンを使用する場合のTKD分析に影響を与えます。
しかし、OptIMUS™ TKDは、蛍光体スクリーンの中心をパターンセンターと正確に一致させ、標準的なEBSDジオメトリが提供するものよりも優れた理想的な幾何学的条件を可能にします。結果として生じる菊池パターンは、バンド検出とその後のインデックス作成精度を大幅に向上させる最小の歪みがあります。
アルゴス™FSE イメージングシステム
OPTIMUS™ TKDは、イメージングのような鮮明な暗くて明るいフィールドをナノメートルスケールまで詳細にして実現するARGUS™イメージングシステムを搭載しており、SEMを実質的に「低kV TEM」に変換します。ARGUS™は、変形した材料内の個々の転位および脱臼壁のネットワークを表示するために使用することができる。画像のような暗視野は、境界面の位置と傾斜に関する3D情報を示します。
使いやすさ
すべての既存のeFlash検出器は、OPTIMUS™TKD検出器ヘッドを装着することができます。™交換は訓練されたユーザーによって10-15分未満で容易に行うことができる。これにより、EBSD と TKD モードを必要なときにいつでも簡単かつ迅速に切り替えることができます。OPTIMUS™ TKDはブルカーの高度な衝突保護システムを特色にする:衝突の万が一の場合に探知器はすぐに10 mm/sの速度で引き込む損傷の危険を大幅に減らす。OPTIMUS™ TKD検出器ヘッドは、TKDサンプルホルダー、XFlash®EDS検出器シリーズを含むSEM用ブルカーのTKDプロフェッショナルツールキットとシームレスに連携し、同時TKD/EDS測定用のDS検出器シリーズとESPRIT 2分析ソフトウェアスイートを提供します。®