ML plus
XRFによる多層膜・薄膜の分析
多層膜試料の層厚や化学組成は、MLplusで簡単に解析できます。ML plusは、波長分散型蛍光X線分析装置（WDXRF） S8 TIGERで使用可能です。
MLplusはSPECTRAplusを拡張し、波長分散型蛍光X線分析（WDXRF）による単層および多層試料の分析を可能にしました。これにより、数原子層（1nm以下）からµmあるいはmmまでの薄膜試料の厚さや組成を直接測定することができます。
MLplusでは、ファンダメンタル・パラメータ法により解析を行います。MLplusの厚さと組成の決定は、SPECTRAplusのスタンダードレス分析に基づいています。特定の多層膜標準は必要ありません。もちろん、結果を最適化するために、様々な多層膜標準物質を登録して使用することもできます。
MLplusは、モデルを設定した後、1回の測定ごとに自動評価を行うことができます。多層膜解析は、層状ガラスやメッキ試料といったコーティングなど、日常的なプロセスコントロールに利用できます。
