ML plus
XRF分析多层薄膜
通过X射线荧光分析（XRF）可以很容易地测定多层膜样品的膜厚和化学成分。可以直接在波长色散型X射线荧光光谱仪（WDXRF）S8 TIGER上分析多层膜样品。
MLplus对SPECTRAplus进行了扩展，采用波长色散型X射线荧光光谱（WDXRF）分析单层和多层薄膜样品。它能直接测定小到几个原子层（小于1 nm）、大到微米甚至毫米数量级的多层膜样品的厚度和成分。MLplus采用完全基本参数方法进行所有计算。MLplus在测定样品厚度和成分时，是基于SPECTRAplus的无标样校准，不需要特定的多层膜标准样品。但是，如果有多层膜标准样品，可以用它来优化分析结果。
一旦设置好模型，MLplus在每次测量结束后会自动评估。生产多层膜玻璃或镀层钢板时，可以用多层膜软件进行常规的过程控制。
