マイクロXRFの主な利点は、サンプル調製のための最小要件です。ただし、測定には解析面を定義する必要があります。多くのサンプルは完全に平面化されておらず、変更することもできません(重要な歴史的博物館の遺物)。地形を使用したサンプルの定性的解析(マップやラインスキャンなど)では、サーフェスの一部が焦点面の外側に表示されます。アパーチャーマネジメントシステム(AMS)は被写界深度を高めることを目的としています。光学イメージングと同様に、非常に異なる理由から、レンズの前の絞りが被写界深度を増加させます。それにより、高い地形を有するサンプルであっても、ほとんどの構造は焦点を合わせ続ける、つまり焦点面内にあります。