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micro-XRF 的一个关键优势是基本无需样品制备。然而,在测试中需要尽量选择平整平面聚焦测试。许多样品表面并非完全平整,也不能改变破坏(如重要历史文物)。对于具有表面不平整样品进行定性分析(例如面扫描或线扫描),部分表面会在焦点平面之外,无法聚焦。孔径管理系统 (AMS) 旨在增加景深。就像光学成像一样,镜头前的光圈会增加景深,但原因却大相径庭。因此,即使对于表面起伏较大的样品,大多数结构仍然可实现聚焦,即在焦点平面内进行测试。