Applications

Semiconductor & Nanotech

Helping innovate in the development, process control and monitoring as technology nodes shrink and devices become more complex

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Advanced Logic

As logic devices become more complex, with such innovations as finFET, nanosheets and other structures, metrology needs have increased. Our solutions enable the development and production ramp of these devices, including combined HRXRD and XRR measurements for complex 3D epi and AFM measurements of nanosheet shape.

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Advanced Power (GaN & SiC)

Bruker HRXRD / XRR systems are the system of choice for the characterization of advanced power systems such as GaN on Si and SiC. They are used in production lines throughout the world for the measurement of film thickness, composition and quality to ensure high yields for Bruker customers.

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Mémoire avancée

Tous les appareils, des téléphones aux ordinateurs portables en passant par les serveurs haut de gamme, ont une mémoire de différentes sortes. Elles vont de la DRAM et de la 3D-NAND à la MRAM en passant par d'autres mémoires à changement de phase plus récentes (comme XPoint). Bruker utilise une gamme de systèmes à rayons X et de techniques pour caractériser les paramètres clés des films : de l’épaisseur à la composition en passant par les profils de forme.

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Défauts & contamination

Bruker (et auparavant bede et Jordan Valley) était un pionnier de l’imagerie par diffraction des rayons X (XRDI) dans l’industrie des semi-conducteurs pour identifier des défauts meurtriers entraînant une rupture des plaquettes. Cette technique a été étendue à l’identification des défauts dans d'autres substrats pouvant affecter le rendement des substrats et des appareils. Bruker fournit également des systèmes TXRF pour des substrats SiC et Si pour identifier la contamination des métaux sur des substrats, un point critique pour le rendement des lignes de production.

Displays and Touchpanels

Écrans & écrans tactiles

Bruker fournit une excellente métrologie de production pour la fabrication d’écrans tactiles et d'écrans

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Electronic Components (RoHS)

La fluorescence à rayons X (XRF) propose une méthode rapide non-destructrice de dépistage des substances dangereuses.

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LED optique

Les solutions de métrologie de Bruker offrent des mesures précises et reproductibles pour surveiller la production et améliorer le rendement.

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Dispositifs RF

Les dispositifs RF sont au cœur des derniers dispositifs de communication 5G. Bruker propose une métrologie à rayons X par XRD pour caractériser les films épitaxiaux ainsi que les compositions et la phase de matériaux utilisés dans les matériaux piézo-électriques requis dans les filtres BAW/SAW.

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Semiconductor Research and Development

Bruker's FT-IR instrumentation is used worldwide to characterize and investigate new semiconducting materials. Examples are studies concerning phonon spectroscopy, IR photoluminescence, hetero structures and band gaps.

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Solaire

Contrôle de processus et recherche solaire des carburants de la métrologie haute précision de Bruker

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Wafer level packaging (emballage au niveau des plaquettes)

Bruker a une gamme de systèmes pour le wafer level packaging (emballage au niveau des plaquettes). Il est possible de mesurer la composition au niveau des bosses et des épaisseurs de métaux sous la bosse à l’aide du µXRF.