Applications

Semiconductor & Nanotech

Helping innovate in the development, process control and monitoring as technology nodes shrink and devices become more complex

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Advanced Logic

As logic devices become more complex, with such innovations as finFET, nanosheets and other structures, metrology needs have increased. Our solutions enable the development and production ramp of these devices, including combined HRXRD and XRR measurements for complex 3D epi and AFM measurements of nanosheet shape.

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Advanced Power (GaN & SiC)

Bruker HRXRD / XRR systems are the system of choice for the characterization of advanced power systems such as GaN on Si and SiC. They are used in production lines throughout the world for the measurement of film thickness, composition and quality to ensure high yields for Bruker customers.

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Memoria avanzada

Encontramos memorias de muy diferentes tipos en todos los dispositivos que tenemos, desde teléfonos a portátiles y servidores de gama alta. Estas van desde DRAM, 3D-NAND, MRAM y las nuevas memorias de cambio de fase (XPoint). Bruker utiliza una serie de sistemas y técnicas de rayos X para caracterizar los parámetros clave de las películas: desde el espesor hasta los perfiles de forma, pasando por la composición.

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Defectos y contaminación

Bruker (y anteriormente Bede y Jordan Valley) es pionera en la imagenología digital por difracción de rayos X (XRDI) en la industria de los semiconductores para identificar los defectos fatales que causan la rotura de las obleas. El uso de este método se ha extendido a la identificación de defectos en otros sustratos que pueden afectar al rendimiento de los sustratos y dispositivos. Bruker también ofrece sistemas TXRF para sustratos de Si y SiC con el fin de identificar la contaminación metálica en sustratos; contaminación que resulta crítica para el rendimiento de la línea de producción.

Displays and Touchpanels

Pantallas y paneles táctiles

Bruker ofrece una excelente metrología de producción para la fabricación de pantallas y paneles táctiles

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Electronic Components (RoHS)

La fluorescencia de rayos X (XRF) es un método rápido y no destructivo para la detección de materiales peligrosos.

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Opto LED

Las soluciones de metrología de Bruker permiten realizar mediciones precisas y reproducibles para supervisar la producción y mejorar el rendimiento.

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Dispositivos de RF

Los dispositivos de radiofrecuencia (RF) son el corazón de los últimos dispositivos de comunicación 5G. Bruker ofrece la metrología de rayos X a través de XRD para caracterizar las películas de epinefrina, y también la fase del material y las composiciones utilizadas en los materiales piezoeléctricos requeridos en los filtros BAW / SAW.

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Semiconductor Research and Development

Bruker's FT-IR instrumentation is used worldwide to characterize and investigate new semiconducting materials. Examples are studies concerning phonon spectroscopy, IR photoluminescence, hetero structures and band gaps.

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Solar

La metrología de precisión de Bruker alimenta la investigación solar y el control de procesos

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Empaquetado a nivel de oblea

Bruker tiene una gama de sistemas para el empaquetado a nivel de oblea. Las mediciones de la composición de cada relieve y el espesor de los metales bajo relieve pueden realizarse utilizando µXRF.