Opto LED

La HRXRD está bien establecida para la medición de las epicapas. El QCVelox-E de Bruker es el líder de vanguardia en la monitorización LED y se utiliza en toda la industria.

El QCVelox-E permite realizar mediciones HRXRD totalmente automatizadas y de alto rendimiento y, junto con el análisis RADS automático y la presentación de informes de los resultados, son herramientas valiosas para que los clientes puedan supervisar el proceso sin necesidad de que haya expertos en rayos X analizando los datos. Para completar la automatización del sistema, hay disponible un paquete software SECS-GEM opcional y un robot de carga.

Los microscopios ópticos 3D de Bruker miden los sustratos de zafiro estampados (PSS) para la próxima generación de I+D y producción y mantener, así, la calidad del dispositivo. Estos instrumentos ofrecen una caracterización precisa de la altura, inclinación y diámetro de las características del PSS, y las mediciones solo llevan unos pocos segundos por sitio.

Las amplias funciones de automatización permiten que el operador sea independiente en un gran número de sitios, de modo que las variaciones entre las obleas puedan ser bien determinadas y controladas.

Nuestros microscopios 3D y perfilómetros también se utilizan para caracterizar la rugosidad, el espesor y la forma de las capas de fósforo utilizadas para crear luz blanca a partir de un LED azul subyacente. Estas propiedades tienen un gran efecto en la eficiencia de la conversión de la luz, y también pueden afectar el color y la uniformidad de la misma.

A medida que el paso del sustrato de zafiro estampado (PSS) desciende por debajo de 2 micras, donde las técnicas ópticas pierden la resolución necesaria para proporcionar una valiosa metrología de procesos, los sistemas de microscopia de fuerza atómica siguen ofreciendo una resolución subnanométrica y la capacidad de medir todos los datos necesarios para mantener el proceso de fabricación del PSS bajo control.

Los analizadores para microscopios electrónicos de Bruker, como el EDS para SEM y TEM, EBSD, WDS y Micro-XRF, permiten el análisis de la textura (EBSD) y las distribuciones de elementos hasta ppm con una resolución espacial alta y también en materiales de capas múltiples (Micro-XRF). Se puede llevar a cabo un análisis particularmente rápido (como el que se necesita en el control de calidad o para grandes áreas de muestra) usando un dispositivo de ángulo de recolección alto, como el detector XFlash FlatQUAD de Bruker.

FT-IR emission spectroscopy is the ideal tool to analyze novel IR sources, lasers, LEDs or electroluminescence. Highest spectral resolution of the research series FT-IR spectrometers allows completely resolving the laser modes. Time-resolved measurement with temporal resolution down to the low ns range enables the acquisition of single laser pulses. Amplitude-modulated step scan making use of lock-in technique offers a possibility to record very weak emission signals. For small emitters in mm or µm range an IR microscope adapted to a research spectrometer provides excellent lateral resolution and utmost sensitivity for emission microscopy at the same time.   

Self-developed infrared detectors can be tested and characterized with Bruker FT-IR research spectrometers. Single element detectors may be directly adapted to external optics of the research series spectrometers. For characterization of focal plane array (FPA) detectors dedicated external measurement modules are available.