Dektak XTL探针式轮廓仪
Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可更大限度地提高测试通量。
鲁棒
自动化设置和操作
基于参考位置和众多测量位置进行编程，以更大限度地提高测试通量并减少出错。
双镜头
摄像机控制
更快地简化测量设置和定位到感兴趣点。
容易
分析和数据收集
自动执行分析程序，仅报告复杂样本上所需的特征。
业界领先的自动化和分析软件
增强的软件功能使 Dektak XTL 成为功能强大、容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用 Vision64 软件，通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状，如曲率半径。模式识别可更大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。
Vision64 生产界面。
遥遥领先的探针技术
操作员将 300mm 晶圆装载到 Dektak XTL 上。
Dektak XTL 以 50 多年的探针式轮廓仪的专业知识和生产设施的应用程序定制为基础，以满足当今和未来严格的行业路线图。300 毫米高精度编码 XY样品台为制造商提供了满足严格计量研发要求的可靠工具。Dektak 的双摄像头控制与高清放大双视场相机提供增强的空间感知。实时视频中的点击定位使操作员能够快速将样品移动到正确的位置，以便快速轻松地进行测量设置和自动化编程。该系统的大型联锁门为样品装载/卸载提供了安全、方便的访问。
其他硬件功能包括：
- 单拱形架构和集成振动隔离系统，实现行业领先的性能
- 快速更换自对齐探针
- 高精度编码 XY 样品台，实现更快的自动数据收集
- N-Lite 低力，采用软触控技术，具有 1mm 测量范围，可同时用于测量精密和高垂直范围样品