TriboLab CMP
CMP 공정 최적화 시험분석기기
TriboLab CMP
TriboLab CMP는 이전 제품(브루커 Model CP-4)을 통해 20년 이상의 CMP 공정 전문 지식을 활용하여 업계 최고의 TriboLab 플랫폼에 완벽한 기능을 제공합니다. 그 결과 발생하는 정확도와 측정 반복성은 CMP 공정 전반에 걸쳐 매우 효과적인 검증, 검사 및 지속적인 기능 테스트를 가능하게 합니다. TriboLab CMP는 CMP 공정 및 소모품의 정확하고 완벽한 특성화를 위해 광범위한 연마 압력(0.05-50 psi), 속도(1~500rpm), 마찰, 음향 방출 및 표면 온도 측정을 제공할 수 있는 시장에서의 유일한 CMP 공정 개발 시험분석기 입니다.
타의 추종을 불허
소규모 R&D 시스템의 ROI
이 benchtop 도구는 생산 장비의 가동 중지 시간 없이 full-scale 웨이퍼 연마 공정 조건을 재현합니다.
유연함
매개 변수 제어
맞춤형 테스트를 통해 재료 개발을 가속화하고 공정을 정확하게 개선 할 수 있습니다.
전문가
응용 분야 및 지원
대규모 설치 기반과 협력하여 수년간의 전문 지식을 연구소에 제공합니다.
CMP공정 CMP MACHINE을 소형화 R&D 스케일화한 전문 시스템
브루커의 TriboLab CMP 공정 및 재료 특성화 시스템은 웨이퍼 연마 공정의 안정적이고 유연하며 비용 효율적인 벤치 특성화를 위해 처음부터 설계되었습니다.
- 생산 장비의 가동 중지 시간 없이 본격적인 웨이퍼 연마 공정 조건 재현
- 타의 추종을 불허하는 측정 반복성과 세부 사항 제공
- 전체 웨이퍼 테스트를 통해 상당한 비용 절감을 위해 소형 조각에 대한 테스트 허용
연마 공정을 더 잘 이해하기 위한 실시간 진단
TriboLab CMP 테스터에서 컨디셔닝 디스크를 시험분석 합니다. 두 개의 컨디셔닝 디스크 그룹을 마찰계수 혹은 패드 마모도 차이에 의하여 식별합니다. 마찰 계수 테스트는 패드 마모와 상관관계가 있습니다.
- 시중에 있는 다른 시스템보다 CMP공정에 근접한 연마 특성에 대한 가시성 제공
- 기질이 패드에 닿는 순간과 전체 테스트에서 데이터를 수집
- 보다 완전하고 상세한 데이터를 통해 초기 단계 프로세스 개발 의사 결정 가능
샘플 유형, 크기 및 Mounting 구성의 유연성
- 거의 모든 컨디셔닝 디스크, 모든 슬러리 및 패드를 사용하여 평평한 소재를 연마 시험분석 합니다.
- 전체 100mm 직경 웨이퍼 샘플을 시험기에 쉽게 장착 가능합니다.
- 유연성을 위해 여러 샘플 장착을 허용합니다.
컨디셔너 패드 테스트를 위한 CMP 테스터의 개념도 입니다.