TriboLab CMP
TriboLab CMP
S'appuyant sur plus de 20 ans d'expertise en caractérisation CMP avec son produit prédécesseur (Bruker CP-4), TriboLab CMP apporte un ensemble complet de capacités à la plate-forme TriboLab, leader de l'industrie. La précision et la répétabilité des mesures qui en résultent permettent une qualification, une inspection et des tests de fonctionnalité très efficaces, nécessaires tout au long du processus CMP. TriboLab CMP est le seul outil de développement de processus sur le marché qui peut fournir une large gamme de mesures de pression de polissage (0,05-50 psi), de vitesses (1 à 500 tr/min), de friction, d'émissions acoustiques et de température de surface pour une caractérisation précise et complète des processus CMP et des consommables.
Petit système spécialisé à l'échelle de la R&D pour CMP
Le système de caractérisation des matériaux et des procédés CMP TriboLab de Bruker a été conçu spécifiquement pour une caractérisation fiable, flexible et rentable des procédés de polissage des plaquettes.
- Reproduit les conditions des procédés de polissage de plaquettes à l'échelle réelle sans temps d'arrêt de l'équipement de production.
- Fournit une répétabilité et une précision de mesure inégalées.
- Permet d'effectuer des tests sur de petits coupons et de réaliser des économies substantielles par rapport aux tests sur des plaquettes entières.
Diagnostics Embarqués pour une Meilleure Compréhension des Processus de Polissage
- Offre plus de visibilité sur les propriétés de polissage transitoires que tout autre système sur le marché.
- Collecte des données dès l'instant où le substrat touche le tampon et pendant toute la durée du test
- Permet de prendre des décisions précoces en matière de développement de processus grâce à des données plus complètes et plus détaillées.
Flexibilité dans le type d'échantillon, la taille et les configurations de montage
- Polissage de tout surface plane de tout type de matériau, en utilisant le disque de conditionnement, les solutions abrasives et les tampons de polissage appropriés.
- Accepte les petits coupons jusqu'aux tranches entières de 100 mm avec facilité.
- Accepte de multiples montages d'échantillons pour plus de flexibilité
