SEM을 통한 나노 물질의 위상 식별
브루커의 QUANTAX EDS/EBSD 시스템 중 가장 높이 평가되는 기능 중 하나는 EBSD 및 EDS 기술의 고급 통합입니다. 우수한 통합은 전자 투명 샘플에도 사용할 수 있으며 eFlash FS와 플랫 쿼드 EDS 검출기® 독특한 XFlash를 결합 할 때 특히 강력합니다. 이 조합은 타의 추종을 불허하는 데이터 품질, 공간 해상도 및 높은 처리량을 제공합니다. 특히 특허받은 TKD 샘플 홀더및 새로 출시된 X선 마스크와 결합될 때. 이 응용 사례에서, 산화물 분산 강화 페리틱 합금은 XFlash® FlatQUAD를 사용하여 단계 식별뿐만 아니라 결정적으로 유사한 위상의 구별을 수행하기 위해 시뮬레이션 TKD 및 EDS 측정의 필요성을 보여줍니다.
측정 된 영역의 밝은 필드 ARGUS 이미지. 샘플은 페리틱 ODS 강철의 TEM 호일이며, 산화화물 입자가 검출된다. 결합된 TKD/EDS 측정은 20kV 및 6nA로 수행되었습니다.
EDS는 eFlash FS 및 XFlash FlatQUAD를 갖춘 동시 TKD/EDS 측정에서 발생합니다. 산화 티타늄 입자의 식별 및 분포가 밝혀졌습니다. 출력 수율은 초당 100만 개, 즉 스펙트럼당 >3000개입니다. 오른쪽: TKD 샘플 홀더용 X-렐라 마스크. 길 잃은 엑스레이를 차단하여 TKD 샘플에서만 EDS 신호를 수집할 수 있습니다.
EDS는 eFlash FS 및 XFlash FlatQUAD를 갖춘 동시 TKD/EDS 측정에서 발생합니다. Yttrium 산화물 입자의 식별 및 분포가 밝혀졌습니다. 출력 수율은 초당 100만 개, 즉 스펙트럼당 >3000개입니다. 오른쪽: TKD 샘플 홀더용 X-렐라 마스크. 길 잃은 엑스레이를 차단하여 TKD 샘플에서만 EDS 신호를 수집할 수 있습니다.
EBSD 방향 분포 결과(IPF Z 맵)는 87%의 인덱싱 적중률을 기록합니다. 산화산상 식별은 검출된 대역및 정량화된 스펙트럼을 사용하여 SEM에서 소요되는 시간을 최적화하기 위해 오프라인으로 수행됩니다.
EBSD 단계는 빨간색, 녹색과 삼각형 이트트리아 빨간색의 페리트와 함께지도 파란색. 기쿠치 대역인덱싱만 기반으로 하는 EBSD 위상 맵: 입방 단계 간의 일부 잘못된 인덱싱.
EDS 정량화 지원 덕분에 잘못 인덱싱하지 않고 EBSD 단계 맵을 다시 분석했습니다.