SEMによるナノ材料の相同定
BrukerのQUANTAX EDS/EBSD システムの最も高く評価されている特徴の1つは、EBSDとEDS技術の高度な統合です。優れた統合は、電子透過サンプルにも利用可能であり、e-Flash FSとユニークなXFlash® FlatQUAD EDS検出器を組み合わせる場合に特に強力なツールとなります。この組み合わせにより、比類のないデータ品質、空間分解能、高スループットを実現します。特許取得済みのTKDサンプルホルダーや新たにリリースされたX線マスクを組み合わせることも可能です。このアプリケーション例では、酸化物分散強化フェライト合金が結晶学的類似相の区別のような相同定を行うために、FlatQUADを用いたTKDシミュレーション およびEDS測定が必要であることを示しています。
測定された領域の明視野ARGUS像。サンプルはフェライト性ODS鋼のTEMフォイルであり、酸化物粒子が検出されます。TKD/EDSの測定は20kVおよび6nAで実施されました。
EDS は、eFlash FS と XFlash FlatQUADを使用したTKD/EDSの同時測定から得られます。酸化チタン粒子の同定と分布が明らかになっています。出力カウント率は、1 秒あたり約100万カウント、すなわちスペクトル当たり >3000カウントです。右：TKDサンプルホルダー用のX-rellaマスク。TKDサンプルからEDS信号を収集し、浮遊X線をブロックします。
EDS は、eFlash FS と XFlash FlatQUADを使用したTKD/EDSの同時測定から得られます。酸化チタン粒子の同定と分布が明らかになっています。出力カウント率は、1 秒あたり約100万カウント、すなわちスペクトル当たり >3000カウントです。右：TKDサンプルホルダー用のX-rellaマスク。TKDサンプルからEDS信号を収集し、浮遊X線をブロックします。
インデックスのヒット率が 87%の EBSD 方位分布結果（IPF Z マップ）。酸化物の相同定は、検出されたバンドと定量化されたスペクトルを使用して、SEMで費やされる時間を最適化するためにオフラインで行われます。
フェライトが赤、立方晶チタニアが緑、三方晶イットリアが青で示されたEBSDフェーズマップです。菊池バンドのインデックスのみに基づくEBSDフェーズマップであり、立方晶間に誤ったインデックスがいくつか作成されています。。
EDSの定量化アシストにより、インデックスを誤らずにEBSD フェーズ マップを再分析できました。