SEM下纳米材料的物相鉴定
布鲁克的 QUANTAX EDS/EBSD 系统最值得赞赏的功能之一是它集成了先进的 EBSD 和 EDS 技术。出色的集成可用于电子透明样品，在结合 e-Flash FS 和独特的XFlash FlatQUAD EDS 探测器时特别强大。这种组合提供无与伦比的数据质量、空间分辨率和高通量，特别是在与获得专利的 TKD 样品支架和新发布的 X 射线罩结合使用时。在此应用示例中，氧化物分散增强的铁合金样品展示了使用 FlatQUAD 进行 TKD 和 EDS 同步测量，执行物相识别以及晶体相似相的区分。
测量区域的 ARGUS 明场图像。样品是铁素体 ODS 钢的TEM薄膜，氧化物颗粒被检测。TKD/EDS同步测量的条件是20 kV和6 nA。
EDS 结果取自 TKD/EDS 同步测量（ eFlashFS 和 XFlash FlatQUAD），揭示了TiO2颗粒分布。输出计数速率为 ~100 万cps/s，即每个点光谱含有> 3000 个计数。右图：TKD 样品支架的 X-rella 罩。它阻止杂散的X射线，仅允许收集来自TKD样本的EDS信号。
EDS 结果取自 TKD/EDS 同步测量（ eFlashFS 和 XFlash FlatQUAD），揭示了Y2O3颗粒分布。输出计数速率为 ~100 万cps/s，即每个点光谱含有> 3000 个计数。右图：TKD 样品支架的 X-rella 罩。它阻止杂散的X射线，仅允许收集来自TKD样本的EDS信号。
EBSD取向分布图（IPFZ），标定率为87%。氧化物物相识别是离线进行的，减少在 SEM 上花费的时间。
EBSD 物相图：铁素体为红色， 立方相TiO2 为绿色和三方晶系的 Y2O3 为蓝色。EBSD 物相图仅基于菊池花样条带标定： 立方相之间存在一些误标。
依靠 EDS 辅助定性，再分析 EBSD 物相图，不会误标的情况。