ARGUS FSE/BSE 이미징 시스템

eFlash EBSD 검출기는 ARGUS™ 포산전자(FSE) 및 백산제 전자(BSE) 이미징 시스템과 함께 선택적으로 사용할 수 있습니다. 이를 통해 검출기의 다재다능함을 높이고 의미 있고 효율적인 미세 구조 특성화를 위한 귀중한 추가 정보를 제공합니다.

두 개의 BSE 검출기 세트가 EBSD 검출기의 스크린 위에 장착됩니다. 세 개의 FSE 검출기가 화면 아래에 있습니다. 검출기의 이 위치는 eFlash의 성능이나 사용자 친화성에 영향을 미치지 않으며 화면은 사용자가 교체할 수 있습니다. FSE/BSE 검출기의 작동에 필요한 모든 전자 장치는 이미 eFlash+ 검출기 포장에 포함되어 있습니다. 편리함 외에도 프리앰플리피어가 검출기에 가까우기 때문에 신호 손실을 최소화할 수 있습니다.

향상된 화질을 위한 BSE 검출기

EBSD 모드에서 높은 샘플 기울기로 인해 표준 SEM SE 및 BSE 검출 시스템은 낮은 품질의 시끄러운 이미지를 생성하는 경향이 있습니다. ARGUS™ BSE 검출기는 높은 기울기 각도를 가진 샘플에서 BSE 신호를 획득하기 위해 최적으로 배치됩니다. 여기에는 화면 위의 위치와 샘플에 대한 성향이 포함되며, 둘 다 최적의 신호 강도를 보장합니다. 또한 EDS 검출기는 BSE 검출기 사이에 맞게 동시 EDS 및 EBSD 획득을 위한 최상의 조건을 제공할 수 있습니다. 생성된 신호는 FSE 검출기에서 개별적으로 사용하거나 혼합할 수 있습니다.

ARGUS™ FSE 검출기와 다채로운 방향 대비 이미지

인광 스크린 아래에 위치한 3개의 ARGUS™ FSE 검출기는 각각 매우 이색성 디설이트 된 선산 신호(Kikuchi 패턴)의 다른 부분을 캡처합니다. 이를 통해 ARGUS™ 시스템은 다결정 시료를 스캔할 때 방향 변화로 인해 약간의 신호 변화를 감지할 수 있습니다. 신호를 표시하기 위해 RGB(색상 코딩)를 사용하여 사람의 눈에는 매우 작은 방향 변화도 표시됩니다. 이 기능은 ARGUS™ 시스템에 고유합니다. (이 기술에 대한 자세한 내용은 A. P. Day 외, 현미경 검사의 저널, 195, Pt. 3, 1999년 9월 3일, pp. 186-196을 참조하십시오.)

ESPRIT 소프트웨어에완전히 통합된 덕분에 신호 최적화는 빠르고 완전 자동입니다. 또한 FSE 신호는 BSE 신호와 결합될 수 있다.

ARGUS™ 이미지는 과학 및 실용적인 응용 프로그램을 모두 가지고 있습니다.