ARGUS FSE/BSE 成像系统

安装在 eFlash 屏幕上方和下方的 FSE/BSE 探测器

eFlash EBSD探测器可选配ARGUS™前散射电子(FSE)和背散射电子(BSE)成像系统。这进一步增加了探测器的功能性,并为有意义和高效的微观结构特性表征提供了有价值的信息。

两个 BSE 探测器的集成在 EBSD 探测器的屏幕上。三个 FSE 探测器则安装在屏幕下方。探测器的位置不会影响 eFlash 的性能及用户使用,用户仍然可以自行更换磷屏。操作FSE/BSE 探测器所需的设置已包含在 eFlash® 探测器软件包中。除了使用方便之外,因为FSE/BSE探测器更靠近EBSD探测器,这还可以最大限度减少信号丢失。

BSE 探测器,提高图像质量

由于 EBSD 模式下的样品倾斜度很高,标准 SEM SE 和 BSE 检测系统往往会产生低质量的嘈杂图像。ARGUS ™ BSE 探测器定位最佳,可从具有高倾斜角度的样品获取 BSE 信号。屏幕上方的位置和相对样品的倾斜度,这两点可确保最佳的信号强度。此外,EDS 探测器可以安装在 BSE 探测器之间,为同时采集 EDS 和 EBSD 提供最佳条件。产生的信号可以单独使用,也可以与 FSE 探测器的信号混合使用。

ARGUS™ FSE 探测器的彩色图像

位于荧光屏下方的三个 ARGUS™ FSE 探测器可分别捕获含有高度各向异性的衍射前散射信号(菊池花样)。这使得 ARGUS™在扫描多晶样品时,由于样品取向变化,可以检测最轻微的信号变化。ARGUS™使用彩色编码 (RGB) 来显示信号,即使是非常小的取向变化也能够对人眼可见。此功能是 ARGUS 系统™独有的。(有关该技术的更多详细信息,请参阅A. P. Day et al., Journal of Microscopy, Vol. 195, Pt. 3, September 1999, pp. 186–196.。

ARGUS™ 快速且全自动的信号优化要归功于它完全集成到 ESPRIT软件。此外,FSE 信号也可以与 BSE 信号结合使用。

ARGUS™图像具有科学和实践应用。