ARGUS FSE/BSE Bildgebungssystem

Die eFlash EBSD-Detektoren sind optional mit dem ARGUS™ Bildgebungssystem für vorwärtsgestreute (FSE) und rückgestreute Elektronen (BSE) erhältlich. Dies erhöht die Vielseitigkeit der Detektoren und liefert wertvolle Zusatz-informationen für eine sinnvolle und effiziente Mikrostrukturcharakterisierung.

Zwei BSE-Detektoren sind über dem Phosphorschirm des EBSD-Detektors positioniert, die drei FSE-Detektoren befinden sich unterhalb des Phosphorschirms. Diese Position der Detektoren hat keinen Einfluss auf die Leistung oder Benutzerfreundlichkeit der eFlash Detektoren, der Phosphorschirm bleibt durch den Nutzer austauschbar. Die für den Betrieb der FSE/BSE-Detektoren erforderliche Elektronik ist im eFlash Detektorgehäuse integriert. Dies sorgt auch dafür, dass der Signalverlust minimiert wird, da sich die Vorverstärker in der Nähe der Detektoren befinden.

BSE-Detektoren für verbesserte Bildqualität

Aufgrund der hohen Probenkippung im EBSD-Modus erzeugen SE- und BSE-Detektionssysteme im Standard-REM in der Regel verrauschte Bilder von geringer Qualität. Die ARGUS™ BSE-Detektoren sind optimal positioniert, um das BSE-Signal aus Proben mit hohem Kippungswinkel zu erfassen. Sowohl die Positionierung über dem Phosphorschirm als auch die Neigung zur Probe sorgen für eine optimale Signalstärke. Außerdem kann der EDS-Detektor zwischen den BSE-Detektoren positioniert werden, um so bestmögliche Bedingungen für die gleichzeitige EDS- und EBSD-Analyse zu schaffen. Das erzeugte Signal kann einzeln verwendet oder mit dem Signal der FSE-Detektoren gekoppelt werden.

Farbkodierte Orientierungskontrastbilder mit ARGUS™ FSE-Detektoren

Jeder der drei ARGUS™ FSE-Detektoren, die unterhalb des Phosphorschirms positioniert sind, erfasst einen anderen Teil des stark anisotrop gebeugten Signals der vorwärts gestreuten Elektronen (Kikuchi-Pattern). Dadurch kann das ARGUS™-System bereits geringste Signalvariationen erkennen, die durch eine Änderung der Orientierung beim Scannen einer polykristallinen Probe erfolgt. Mit Hilfe der Farbkodierung (RGB) zur Anzeige des Signals werden selbst kleinste Orientierungs-änderungen für das menschliche Auge sichtbar gemacht. Diese Funktion ist einzigartig für das ARGUS™-System. (Weitere Einzelheiten zur Technik finden Sie in A. P. Day et al., Journal of Microscopy, Vol. 195, Pt. 3, September 1999, S. 186–196.)

Die Signaloptimierung erfolgt schnell und vollautomatisch dank der vollständigen Integration in die ESPRIT Software. Das FSE-Signal kann auch mit dem BSE-Signal kombiniert werden.

ARGUS™ Bilder haben sowohl wissenschaftliche als auch praktische Anwendungen.