Dektak Pro

Dektak Proは、市販の触針式プロフィロメーターの中で最も高い解像度、最も低いノイズフロア、最も簡単な探針交換を実現し、正確で精密なデータを提供します。最先端の測定・解析技術により、再現性と精度を最大限に高め、シングルナノメートルステップの高さ測定と4Åを超える再現性を実現しています。

Dektak Proを使用すれば、測定と解析のすべての工程が高速化。ダイレクトドライブスキャンステージテクノロジーはスキャン間の時間を短縮し、Vision64®ソフトウェアの64ビットパラレルプロセッシングは高速データ処理を可能に。

スピードと使いやすさを追求したDektak Proのポイント：

• 新しいアルゴリズムにより、光学ライブ画像ではほぼ全視野にピントが合うようになり、試料上の特徴が見つけやすい。

• 新しい段差認識アルゴリズムにより、解析ルーチンが自動化され、一貫性が向上し、段差計算における潜在的なユーザーエラーを最小限に抑えることが可能に。

幅広い用途に対応

Dektak Proは、研究開発、プロセス開発、QA/QCの様々な産業・研究用途における将来的なニーズに対応：

• Microelectronics　マイクロエレクトロニクス
• Thick film coatings　厚膜コーティング
• Biomaterials　生体材料

変化する測定シナリオにおける正確さと応答性

Dektak Proでは、1つの測定ヘッドで5nm～1mmの段差、0.03～15mgの荷重（N-Lite+オプション使用時）を再校正なしで測定できます。低慣性センサー（LIS 3）は、表面形状の急激な変化に素早く適応し、変化する測定シナリオでも精度と応答性を維持します。

素早く簡単にスタイラスを交換

Dektak Pro は、独自のセルフアライメント機能を搭載しているため、スタイラス交換が迅速かつ簡単に行え、プロセス中に起こりうる誤操作を防ぐことができます。ブルカーは、ほぼすべてのアプリケーションに対応できるよう、最も幅広いスタイラスをラインナップしています。

Dektak Proには、最大200 mmのサンプルにフルアクセスが可能なウェーハ用ステージや自動ステージオプションなど、お客様のニーズやご予算に応じたさまざまな標準構成があります。

Dektak Pro E or -S:手動100mmXYステージ（手動θオプション）

Dektak Pro A:   電動360°θ付き150 mm XYステージ

Dektak Pro A200: エンコードされた電動360°θ付き200mmXYステージ

ここに掲載されているのは、一部の製品の仕様や提供内容です。