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CryoSAS （Cryogenic Silicon Analysis System、低温シリコン分析システム）は、シリコン中の不純物を 15K 以下の低温環境下で分析するために開発された装置です。また、装置は太陽電池および半導体分野における品質管理を考慮して設計された、オールインワン専用システムです。
完全なシリコンインゴット中の格子間酸素を FT-IR で定量し、長手方向に沿った濃度プロファイルを得るための専用アトラインシステムです。ウェハーやテストサンプルを切り出すことなく濃度情報が得られるため、コスト削減に大きく貢献します。
