SiBrickScan

製品品質の確認と最適化のための貴重な情報を得る

シリコンインゴットの酸素勾配を知ることで、例えばシリコンの結晶化プロセスの制御と最適化、あるいは不良バッチの特定において有用となる重要な情報が得られます。そのため SiBrickScan は製品品質を最適化し、不良ウェハーの量を減らすことでコスト削減に貢献します。個々のインゴットをランダムにサンプリングすることで、試料前処理の手間を大幅に削減し、関連情報をより早く提供します。

最先端の FT-IR 分光法による最高の感度

FT-IR を用いた格子間酸素の定量は、 ASTM/SEMI 1188 等として広く知られる重要な分析法ですが、一般的には 2 mm 程度の Si ウェハーのみに適用が可能です。SiBrickScan はこの制限を克服し、時間と手間のかかるウェハー試料の調製を必要とせず、完全なインゴットの状態で長軸方向の酸素濃度分布を測定できる完全専用システムです。SiBrickScan は、格子間酸素に帰属される赤外吸収の倍音を利用し、信頼と実績のブルカー FT-IR テクノロジーによって、高い精度で定量します。

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ウェハー試料を準備することなく格子間酸素を定量

SiBrickScan は、長さ 500 mm までのシリコンインゴット中の格子間酸素の分析を可能にします。この貴重な情報により、ウェハー化の前に、結晶化プロセスの最適化と個々のインゴットの適格性確認が可能になります。

ASTM/SEMI1188 と直結した高精度検量メソッド

SiBrickScan による酸素濃度の評価では、ASTM/SEMI 1188 に直接結びつけられた検量線を使用します。両者の相関はほぼ完璧であるため、格子間酸素濃度を非常に高い精度で評価することができます。

SiBrickScan による最高の検出感度

試料インゴットの形状や特性（抵抗値など）にもよりますが、SiBrickScan の格子間酸素に関する検出下限は < 2 ppma (< 1017/cm3) です。評価測定にご興味のある方は、ブルカーまたはブルカー代理店までお問い合わせください。

さまざまなインゴットタイプに対応する専用 SiBrickScan バージョン

SiBrickScan は、単結晶または多結晶の、角型および円筒型インゴットに適用が可能です。標準的な角型PVインゴットは断面サイズ 156 x 156 mm2 まで、円筒型では直径 150 mm（6インチ）または 200 mm（8インチ）のインゴットにそれぞれ対応します。また、その他の大きさや形状についてのご相談にも応じます。

業界標準互換、堅牢な設計

堅牢かつ精密なリニアドライブ機構が、インゴットの測定位置を自動的に制御します。装置構成やインゴットの種類にもよりますが、インゴットの長軸方向の位置分解 ～12  mm を達成することができます。また、信頼性と安全性の高いインターロック機構により、オペレーターが可動部品に接触する危険性を排除しています。

直感的で扱いやすいソフトウェアインターフェース

SiBrickScan には、製造業の環境を考慮して最適化された、専用設計の直感的なグラフィカルユーザーインターフェースが装備されています。また、標準的な操作手順は、どなたでも短時間で習得できるシンプルさで、インゴットをセットして目的の分析レシピを選択し、あとは測定を開始するだけです。測定自体は、データ評価を含めて自動的に行われます。

革新的かつ高感度な光学デザイン、リファレンス試料内蔵

ユニークで革新的な光学設計により、最高の測定感度を提供します。さらに高品質の標準試料を内蔵し、定量に必要となる参照スペクトルの測定も自動的に行われます。

お客様のご要望に応じた検出器オプション

SiBrickScan の検出器には、液体窒素を必要としないスターリング冷却式検出器（標準仕様）と、液体窒素冷却式検出器（オプション）の2種類が用意されています。