Analizador de lingotes de silicio

SiBrickScan

Analizador de lingotes de silicio SiBrickScan (SBS)

SiBrickScan (SBS) es un sistema FT-IR en línea dedicado para la cuantificación de oxígeno intersticial en lingotes de silicio completos, lo que resulta en un perfil de concentración a lo largo del eje longitudinal. Acceder a esta información sin  cortarlo en obleas y sin utilizar muestras de prueba es una ventaja importante y supone un ahorro de costes.

 

Obtenga información valiosa para comprobar y optimizar la calidad del producto

Conocer el gradiente de oxígeno de los lingotes de Si permite obtener importante información que ayuda, por ejemplo, a controlar y optimizar el proceso de cristalización del silicio o a identificar lotes de materia prima indecuados. Por lo tanto, SBS ayuda a ahorrar costes optimizando la calidad del producto y reduciendo la cantidad de obleas defectuosas. El muestreo aleatorio de lingotes individuales reduce enormemente el esfuerzo de preparación de muestras y proporciona información relevante mucho antes.

 

Máxima sensibilidad por espectroscopía FTIR de última generación

La cuantificación de oxígeno intersticial por espectroscopía FT-IR (ASTM/SEMI 1188) es un método de análisis bien establecido, pero limitado a muestras de Si delgadas en el rango por debajo de mm. SiBrickScan (SBS) supera esta limitación, y es el primer sistema completamente dedicado disponible comercialmente para determinar el gradiente de oxígeno en lingotes completos a lo largo de su eje principal, sin la necesidad de preparar una muestra delgada, lo cual consume mucho tiempo y es destructiva. SBS hace un uso inteligente de la absorción en el infrarrojo del armónico una banda combinada con la fiable tecnología FT-IR de última generación de Bruker.

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Aplicaciones

Cuantificación del oxígeno intersticial sin preparación de muestras delgadas

SiBrickScan permite el análisis de oxígeno intersticial en lingotes de silicio de hasta 500 mm de longitud. Esta valiosa información permite la optimización del proceso de cristalización, así como la cualificación de los lingotes individuales antes del corte.

Calibración de alta calidad directamente vinculada a ASTM/SEMI 1188

Con SBS la evaluación de oxígeno utiliza una calibración que está directamente vinculada/derivada de ASTM/SEMI 1188. Dado que la correlación de ambos métodos es casi perfecta, la concentración intersticial de oxígeno se evalúa con la mayor precisión.

 

Máxima sensibilidad de detección con SBS

Dependiendo de la forma y las propiedades de la muestra (por ejemplo, su resistencia) SBS puede alcanzar límites de detección de oxígeno intersticial < 2 ppma (< 1017/cm3). Si está interesado en mediciones de pruebas de viabilidad, póngase en contacto con su representante local de Bruker.

Especificaciones

Versiones SBS dedicadas para diferentes tipos de lingotes

SBS está disponible para lingotes de Si fotovoltaico estándar poli o mono cristalino (sección transversal de 156 x 156 mm2), así como para lingotes de Si cilíndricos, por ejemplo, con diámetro de 150 mm (6") o 200 mm (8"). Hay sistemas disponibles para otros diámetros y formas bajo petición.

 

Diseño robusto compatible con la industria

Una unidad lineal robusta y precisa controla automáticamente la posición de medición del lingote: dependiendo de la configuración y el tipo de lingote, se puede lograr una resolución espacial de oxígeno de 12 mm a lo largo del eje del lingote. Los mecanismos de cierre fiables y seguros excluyen el riesgo de que el operador entre en contacto con piezas móviles.

 

Interfaz de software intuitiva y fácil de usar

SiBrickScan (SBS) incluye una interfaz gráfica de usuario dedicada e intuitiva optimizada para el entorno industrial. Los trabajadores de producción podrán aprender el procedimiento de operación estándar en cuestión de minutos: simplemente cargue el lingote, elija el procedimiento de análisis deseado e inicie la medición. La medición y la evaluación de datos se llevarán a cabo automáticamente.

 

Innovadora diseño óptico de alta sensibilidad con muestra de referencia incluida

Un camino óptico para el haz infrarrojo único e innovador garantiza la máxima sensibilidad en la medición. El instrumento incluye una muestra de referencia de alta calidad y la medición de referencia se realiza automáticamente.

 

Opciones de detector de acuerdo con los requisitos del cliente

SBS está disponible con un detector refrigerado criogénicamete Stirling, que funciona sin nitrógeno líquido. Opcionalmente, SiBrickScan también se puede pedir con detector refrigerado por nitrógeno líquido, que incluye un dispositivo de recarga automática.

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