ダイヤモンドを含んだニューランズキンバリー岩(南アフリカ、カープバールクラトン)のガーネットやスピネルを含むかんらん岩のSEM-XRF元素マップを示します。様々な元素の強度は、サンプルに存在する特定の鉱物を示しています。例えば、Ca(緑)–単斜輝石;Cr(青)–クロマイト;Al(黄色)–ガーネット、交代作用のためのK(オレンジ) です。薄片は 、SEM上のμXRFを使用して分析されました。サンプルは約3cm x 2cmで、単一フレームとして分析されました。各ピクセルの完全なスペクトルにより、要素の追加、マップからのスペクトル抽出、マップの定量化、自動位相などのオフライン処理が可能になります。
μXRFのデータは、サンプル内の微量元素だけでなく、高エネルギーX線も識別できるという利点があります。μXRFは電子ビームよりも大きいものの、小さなスポット分析(約35μm)になります。相互作用の体積は、電子ビームの体積よりもはるかに大きく、元素とサンプルのマトリックスに依存します。その結果、2D 要素マップは、電子ビームと X線で生成されたマップの間に違いをもたらす可能性があります。より低いスペクトルのバックグラウンドにより、電子ビームでは不可能な微量元素の検出が可能になります。サンプルの前処理の要件は異なります。例えば、帯電効果がないため、サンプルコーティングを行う必要はありません。さらに、深い位置の情報を取得するため、高品質な研磨は必要ありません。荒いサンプルでも平面を有する限り、分析することができます。定量は、スタンダードまたはスタンダードレスで実施することができます。