QUANTAX マイクロXRF

10

ppm

検出限界

低いスペクトルバックグラウンドにより微量元素分析が可能

最小限

の前処理

試料前処理を簡単に

カーボンコート不要。チャージアップの影響なし。

40

µm

膜厚測定

1 nmの薄膜から40 µmの多層構造まで分析可能

SEMに新機能を追加 - マイクロXRF分析でSEM-EDSを拡張

　顕微X線蛍光 (マイクロXRF)分光法は非破壊の分析手法で、通常の走査電子顕微鏡/エネルギー分散型X線分光法 (SEM-EDS)と組み合わせて使用することができます。

　SEM内でのマイクロXRF (SEM-XRF)により、微量元素の検出やマッピング、多層構造の分析などの新機能をSEMに追加することができます。

微量元素の検出

　X線による元素分析はより高感度で、元素によっては10 ppmの濃度まで検出することができ、より広いスペクトル範囲 (40 keVまで)、より深い位置の情報を得ることができます。

微小スポットでの元素マッピング

　QUANTAX マイクロXRFシステムは新開発のX線源 XTrace2を使用しています。マイクロフォーカスX線光学系を備え、最小10 µmのスポットサイズで高強度のX線を出力します。

多層構造の分析

　X線は電子ビームよりも深く試料内部まで侵入するため、1 nmから40 µmまでの多層構造を分析することができます。

XTrace 2 製品情報

QUANTAX マイクロXRF: EDS検出器とX線光源により、電子ビーム励起/X線励起の複合分析が可能です。

電子ビーム励起とX線励起の複合分析

さらに多彩な分析 - SEM-EDSにマイクロXRFの機能を追加して2種の励起ビームを利用可能に。電子ビームとX線ビームでの同時分析も可能。.
より多くの元素を分析 - 軽元素 (炭素～ナトリウム)は電子ビーム励起で、より重い元素はX線励起で。
1回の分析で2種のスペクトル - 軽元素のスペクトルを含むSEM-EDSのデータと、微量元素の高エネルギーピークを含むマイクロXRFのデータは同一の検出器で測定可能
より明確なデータ - 高エネルギー領域のスペクトルを測定可能で、重なりの少ないK線を用いて明確な分析が可能
分析時間の短縮 - 導電コートや複雑な研磨工程を省略して最小限の前処理で分析

QUANTAX マイクロXRFシステムは、XFlash^® EDS検出器とXTrace 2 X線源を使用し、電子ビーム励起とマイクロXRF分析の長所を組み合わせた分析が可能です。

QUANTAX マイクロXRFのシステム構成

QUANTAX マイクロXRFシステムは走査電子顕微鏡内でのマイクロXRF分析を可能にする分析ツールです。システムは以下のコンポーネントで構成されます。

XTrace 2 管電圧50kVのマイクロフォーカスX線源
ESPRIT 測定・分析ソフトウェア
XFlash^® EDS検出器高エネルギー領域も測定可能な高速EDS検出器 (既設の検出器も使用可能)
Rapid Stage (オプション) 高速マッピング用ステージ

お問い合わせパンフレットをダウンロード (EN)

XTrace 2 - SEM内マイクロXRF用新世代X線源

XTrace 2はSEM内マイクロXRF (SEM-XRF)用の新世代のX線源です。この革新的なX線源によって高分解能マイクロXRFのスペクトル測定を高速に測定することができます。

FlexiSpotモード、アパーチャマネジメントシステム、電動フィルターホイールなどの先進機能で、難しいサンプルからも豊富な情報を引き出します。

管電圧 50 kV、管電流 1000 µAの高エネルギーX線により正確な元素情報を速く効率的に測定します。
6種の1次フィルタ を自動で切り替えることで効率的にバックグラウンドを抑え、ppmレベルの微量元素を検出
アパーチャマネジメントシステム (AMS) により異なるワーキングディスタンスでもフォーカスを維持し、凹凸試料でも高い空間分解能で測定可能
FlexiSpot モードにより、スポットサイズを変化させながら不均一、不規則なサンプルを分析
電動ステージにより、不要時はX線光学系を退避位置に移動させることが可能、自動リトラクト機能あり
マイクロXRF / SEM-EDS切り替え時に同じ分析箇所に移動できる分析位置の保存機能
X線管の寿命を最大化する自動ウォームアップ機能
フィルターの選択、電動ステージ駆動、測定条件の設定などは使いやすいESPRIT ソフトウェアで制御

XTrace 2 - SEM-XRF用X線源

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新機能

凹凸試料の分析を可能にするアパーチャマネジメントシステム (AMS)

XTrace 2はAMSを備えており、複雑な凹凸を持った試料をスキャンする場合でもX線スポット分解能を維持することができます。

XTrace 2 のAMSは焦点深度を深く取ることでワーキングディスタンスが変化する場合でも焦点を維持することができます。これにより、ワーキングディスタンスの変化による空間分解能の低下を最小限に抑え、凹凸の大きい試料の3次元構造を高い空間分解能で元素マッピングすることができます。

XTrace 2 のAMS機能により、凹凸の大きい試料を分析することが可能です。左図はAMSなしの場合の黄鉄鉱(FeS2)の画像で、右図はAMSを500 µmに設定した場合の画像です。

新機能

FlexiSpot - 可変スポットサイズ

FlexiSpot 機能を使用すると、小スポットサイズ (10 μm, 35 μm)だけでなく、より大きいスポットサイズ (50 - 500 μm)でも測定することができます。FlexiSpotでは、X線源を設計上のワーキングディスタンスから移動させてデフォーカスさせます。スポットサイズはESPRITソフトウェア上で選択することができます。

より大きなスポットサイズを使用すると、不均一で不規則な形状の試料や粉末のように表面が平坦でない試料に対しても、正確な定量を行うことができます。また、統計的により正確な試料組成を一度の測定だけで得ることができます。